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Coxem社製 イオンコーター(Ion Coater)


外観


イオンコーター/Ion Coater


特長


簡便な操作
   
  Setting
スパッタリング条件はLCD画面(左図)にターゲット種類、電流値、処理時間を▲▼ボタンで選択して簡単に設定できます。
Target:Au, Pt(Pd, Cr, Pt-Pd, Cu, Agなど)
Current:1-9mA
Time:10-990 sec
   
Process
スパッタリング中はLCD画面(左図)に真空レベルと処理時間が表示されます。
     
Thickness Rate
電流値:3mA, 5mA, 7mA
X:時間
Y:膜厚
 
 
 
     
Polymer  Ceramic Metal cross section Alminum
       
Cu powder Si wafer PCB Solar cell
       
Membrane Dental implant Hair Mosquito


 仕様/価格


型式 SPT-20
ターゲットサイズ 50 mm(Auターゲット付属)
イオン電圧 〜1kV
イオン電流 1〜9 mA
コーティング時間 10 - 500 sec
真空ポンプ 50 L/min 推奨
外形寸法 420(W)×220(D)×230(H) 
電源 100-240V, 50Hz/60Hz, 500W
重量 10 kg
税別価格 ¥1,520,000

お問い合わせ si-support@filgen.jp P.052-624-4388 www.filgen.jp
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