製品・サービス情報
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2波長による紫外線とオゾンのダブル効果で有機汚染物質を除去
UVオゾンクリーナー |
※ダメージフリーの乾式洗浄法で、基板に付着している有機汚染物質を、光化学的酸化分解プロセスによって除去できます。 |
 エキシマランプ仕様/UV172-EX
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簡便にエキシマランプによる光洗浄が可能となります。
タイマーがデジタル方式であり、減数カウントが可能です。
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本体
| 製品名 |
UVオゾンクリーナー エキシマランプ仕様 |
| 型式 |
UV172-EX |
| 光源 |
種類 |
エキシマランプ |
| 形状 |
直管タイプ |
| ランプ本数 |
4 |
| 波長 |
172nm |
| 洗浄室内寸法 |
338(W)×410(D)×170(H)mm |
| 外形寸法 |
580(W)×530(D)×580(H)mm |
| 電源 |
100V |
| オプション |
レギュレーター、流量計、装置搭載ワゴン |
窒素タイマー
（ランプハウス内パージ） |
デジタル式 |
| VUVタイマー |
デジタル式 |
窒素タイマー
（オゾン排気） |
デジタル式 |
オゾンキラー連動
電源コンセント |
有 |
インターロック機構
（扉スイッチ） |
UVランプ消灯 |
有 |
| 電磁弁遮断 |
有 |
| 税別価格 |
お問い合わせ |
※レギュレーター、流量計、装置搭載ワゴンの詳細についてはお問い合わせ下さい。
※紫外線強度の測定方法は、ランプにより異なります。詳しくはお問い合わせ下さい。
※UV172-EX をご使用になられる場合は、オゾンキラーが必要となります。
※価格は日本国内販売価格です。
オゾンキラー
| 製品名 |
オゾンキラー |
| 型式 |
UV253H12-OZ |
| オゾン除去方式 |
触媒 |
| 電源 |
100V 1.5A |
| エアポンプ排気流量 |
18L/min |
| 外形寸法 |
530(W)×510(D)×120(H)mm |
| 税別価格 |
￥590,000- |
⇒オゾンキラー（オゾン分解排気装置）の詳細
※価格は日本国内販売価格です。
ボンベ用レギュレーター
| 製品名 |
酸素ボンベ用流量計付
レギュレーター |
窒素ボンベ用流量計付
レギュレーター |
| 型式 |
UV253H16-ORG |
UV253H16-NRG |
| 使用ガス |
酸素 |
窒素 |
| 入力側 |
W22-14山（右） |
| 出力側 |
継手コネクト（外径6mmチューブ用） |
| 流量計スケール |
5～50L/min |
| 税別価格 |
￥105,000 |
￥105,000 |
⇒流量計付レギュレーターの詳細
※価格は日本国内販売価格です。 |
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