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Midas System社製
スピンコーター(デジタルタイプ)

 ※フォトレジスト薄膜やコーティングを正確かつ均一な製膜のためのコンパクトスピンコーター。
   最大50ステッププロセスが設置でき、低速度で塗布、高速でコーティングを均質化



外観


SPIN-1200D SPIN-1200T


特長


省スペース、コンパクトスピンコーター
プログラマブル50ステップ(回転速度、時間)設定、20プログラム保存
コーティング基板サイズ:8mm〜4インチウェハ
オイルレス真空ポンプ付属


 仕様


●Spin Coater
型式 SPIN-1200D SPIN-1200T
操作パネル ボタン設定 タッチパネル設定
基板サイズ 8mm〜100mm
回転速度 Max 7,000 rpm Max 10,000 rpm
加速度 可変時間 0.1秒ステップ
コーティングプログラム 50ステップ × 20プログラム
ボールサイズ 8インチPP製
チャック チャック1: 8mm〜2インチ基板対象、チャック2: 3〜4インチ基板/ウェハ対象
真空ポンプ オイルレス真空ポンプ付属(真空チャック用)
寸法 230(H) × 340(W) × 260(D)
電源 110V 50/60Hz、5A
税別価格 ¥1,310,000- 1,430,000-

お問い合わせ si-support@filgen.jp P.052-624-4388 www.filgen.jp
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