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SemiconSoft社製 膜厚測定システム
MProbe 20 シリーズ


概要


MProbe20シリーズは、分光反射率法に基づいた薄膜の膜厚測定のためのデスクトップシステムです。システムには、本体(分光器、光源、検出器を内蔵)、光ファイバープローブ、試料ステージ、解析ソフトウェア、キャリブレーションサンプルが含まれており、すぐに測定を開始できます。また、SemiconSoft社のライブラリーには、500種類以上の材料が登録されており、新規登録も非常に簡単です。

アプリケーション


酸化シリコン、窒化シリコン、DLC、フォトレジスト、ポリマー、ポリアミド、ポリシリコン、ナノクリスタルシリコン、アモルファスシリコン、シリコン、パリレンなどの半透明または低吸光性のフィルムの膜厚測定(膜厚:1nm-1,000μm)に適します。


(具体的なアプリケーション例)
薄膜太陽電池 ・・・ アモルファスシリコン、ClGS、CdTe、TCO
半導体および誘電材料 ・・・ フォトレジスト、酸化物、窒化物、OLED積層体
光学コーティング ・・・ 反射防止コート、ハードコート、フィルター
液晶ディスプレイ ・・・ セルギャップ、ITO、ポリアミド
その他 ・・・ 磁気メディア、レーザーミラー、金属薄膜


特長


膜厚、光学定数、表面粗さ等を非破壊で測定可能
用途に合わせた柔軟なシステム構成
0.01nm または、0.01%以下の優れた精度
ユーザーフレンドリーかつ強力な解析ソフトウェア
500種類以上の材料を含むライブラリー


製品仕様


(基本仕様)
MProbe20シリーズ 基本仕様
精度(Precision) 0.01nm または 0.01%未満(SiO2/Si キャリブレーションサンプル測定時)
確度(Accuracy) 1nm または 0.2%未満(膜組成による)
安定性 0.02mm または 0.03%未満
測定スポットサイズ 2mm
サンプルサイズ 5×5mm 〜 200×200mm

(モデル別仕様)
- Vis UVVisSR VisHR NIR VisNIR UVVisNIR VisXT
測定膜厚範囲 10nm〜
75μm
10nm〜
75μm
1μm〜
400μm
50nm〜
300μm
10nm〜
300μm
1nm〜
300μm
10μm〜
1400μm
波長 400〜
1100nm
200〜
1000nm
700〜
1100nm
900〜
1700nm
400〜
1700nm
200〜
1700nm
800〜
870nm
検出器 CCD, 3600px CCD, 3600px CCD, 2048px InGaAs PDA, 515px CCD, 3600px;
InGaAs PDA, 515px
CCD, 2048px;
InGaAs PDA, 515px
CCD, 2048px
光源 Tungsten
-Halogen
D2; Tungsten
-Halogen
Tungsten
-Halogen
Tungsten
-Halogen
Tungsten
-Halogen
D2; Tungsten
-Halogen
Tungsten
-Halogen



製品内容


本体(分光計、光源を含む)
反射プローブ
サンプルステージ(反射プローブホルダー付き)
解析ソフトウェア<TFCompanion software advanced version>(USBドングルライセンスキーを含む)
キャリブレーションセット(リファレンスウェハー: SiまたはAI、吸光パッド)
テストサンプル(200nm酸化ウェハー)
USBケーブル(本体とPC接続用)
ACアダプター
 *別途PCが必要です。


マニュアルダウンロード


お問合せください。


価格


製品名 税別価格 Cat.#
MProbe 20-Vis お問い合わせ F-SS-MP20-VIS
MProbe 20-UVVisSR お問い合わせ F-SS-MP20-UVVIS
MProbe 20-HRVis お問い合わせ F-SS-MP20-HRVIS
MProbe 20-NIR お問い合わせ F-SS-MP20-NIR
MProbe 20-VisNIR お問い合わせ F-SS-MP20-VISNIR
MProbe 20-UVVisNIR お問い合わせ F-SS-MP20-UVVISNIR
MProbe 20-VisXT お問い合わせ F-SS-MP20-VISXT

お問い合わせ Scientific Instruments: si-support@filgen.jp P.052-624-4388 www.filgen.jp
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