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結晶材料 / スパッタターゲット / ターゲット・結晶合成サービス


ターゲット・結晶合成サービス
フィルジェンでは、ターゲット・結晶合成に実績のあるメーカーと連携しています。高純度の材料を原料とした高品質製造、複雑な難加工にも対応可能です。半導体、光デバイス、電池用の各種薄膜材料向けにターゲットを合成しています。モノクロメーター(X線、中性子)、電子源(W-ニードル、LaB6、CeB6-カソード)、基礎研究(表面物理学、触媒化学、材料特性)の研究に単結晶を合成しています。

【ターゲットの仕様】
材質 金属、合金、酸化物、ホウ化物、炭化物、フッ化物、窒化物、硫化物
純度 99〜99.9999%
形状 円形、長方形 など
オプション 銅バッキングプレートへのボンディング加工

【単結晶の仕様】
材質 金属、合金、酸化物、ホウ化物、炭化物、フッ化物、窒化物、硫化物
純度 99〜99.9999%
方位精度 0.1°未満
形状 右図をご参考ください。その他ご希望の形状についてもお問合せください。
オプション アニーリング、溝加工
再研磨 使用済み結晶の再研磨可能

【過去の受託事例】
ターゲット 単結晶
LaB6, purity 99.5%, φ50x3mm TiO2 (011), 10x10x0.5mm
CrB2, purity 99.5%, φ50x3mm Cu (100), φ10x2mm
TiB2, purity 99.5%, φ50x3mm Cu (111), φ10x2mm
ZrVFe, 5x5x1mm Al2O3, 17x3.5x0.5mm
Ag, purity 99.9%, 15x300x0.265mm など

【お問合せ方法】

以下のご要望を、E-mail(biosupport@filgen.jp)またはFax(052-624-4389)にて、弊社までお問合せください。
ターゲット 単結晶
1.材質 1.結晶名
2.純度 2.サイズ
3.形状 3.方位
4.ボンディング加工の有無 4.表面仕上げ
- 5.溝加工、アニーリングの有無
お問い合わせ biosupport@filgen.jp P.052-624-4388 www.filgen.jp
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