製品・サービス情報
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SPI Supplies社製品
電子顕微鏡関連消耗品
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グリッド/シリコンメンブレングリッド
●シリコンメンブレングリッド
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【Silicon Nitride/Silicon Oxide X-Ray Window】
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X-Rayウィンドウは、X線/電子線フィルタ、X線発光/分光法に最適です。
(アプリケーション)
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●X線顕微鏡、電子顕微鏡隔壁窓
●電子線、ビーム透過真空窓
●X線/電子線フィルタ |
(特長)
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プラズマクリーニング |
窒化シリコン膜は、プラズマクリーニングにより有機汚染物を除去することができます。 |
均一性 |
均一に蒸着されたLPCVD窒化シリコンは、低フィールド間変動と高いX線透過を実現。 |
堅固 |
窒化シリコン膜は平坦で、絶縁性および疎水性で、圧力と温度の耐性が高い。 |
メンブレン |
フレームサイズ
(mm) |
フレーム厚
(μm) |
メンブレン厚
(nm) |
ウィンドウサイズ
(μm) |
枚数 |
税別価格 |
型式 |
窒化シリコン |
5×5 |
320 |
50nm |
500×500 |
10枚 |
お問合せ |
X05-A50Q05 |
1000×1000 |
お問合せ |
X05-A50Q10 |
100nm |
500×500 |
お問合せ |
X05-A100Q05 |
1000×1000 |
お問合せ |
X05-A100Q10 |
200nm |
1500×1500 |
お問合せ |
X05-A200Q15 |
2500×2500 |
お問合せ |
X05-A200Q25 |
酸化シリコン |
100nm |
500×500 |
お問合せ |
X05-GFLAT100-05 |
300nm |
500×500 |
お問合せ |
X05-GFLAT300-05 |
窒化シリコン |
10×10 |
50nm |
500×500 |
お問合せ |
X10-A50Q05 |
1000×1000 |
お問合せ |
X10-A50Q10 |
100nm |
500×500 |
お問合せ |
X10-A100Q05 |
1000×1000 |
お問合せ |
X10-A100Q10 |
200nm |
1500×1500 |
お問合せ |
X10-A200Q15 |
2500×2500 |
お問合せ |
X10-A200Q25 |
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【加熱・電気バイアス-窒化シリコンメンブレンLift-Outグリッド Silicon Nitride Lift-Out Grids for Heating
& Electrical biasing】
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金電極付窒化シリコンメンブレングリッドは、電気バイアス(電圧/電流)、サンプル加熱によるTEM観察を可能にします。
● |
Flip-stage SEM/FIBホルダー、TEMホルダーに適合 |
● |
400nm膜厚窒化シリコンメンブレン(100×500μm) |
● |
窒化シリコンメンブレンは、FIBにより、電子透過(50nm以下)可能な厚さに加工できます。 |
● |
金電極:電気バイアス回路、サンプル加熱アプリケーション |
● |
試料調整、薄膜加工のための簡単なアクセスエッジを提供し、ウィンドウ100×500μmの長さに沿って、浮遊側に400nm厚窒化シリコンメンブレンが備えられています。 |
品名 |
メンブレン厚 |
フレーム厚 |
メンブレンサイズ
(リフトアウト開口部) |
電極 |
イメージ |
枚数 |
税別価格 |
型式 |
SiN Lift-Out Grid |
400nm |
100μm |
100μm×500μm |
金電極
(200nm厚)×4 |
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10枚 |
お問合せ |
SN100-LFT-Au |
窒化シリコン |
400nm |
100μm |
100μm×500μm |
- |
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10枚 |
お問合せ |
SN100-LFT |
写真提供:名古屋大学 超高電圧電子顕微鏡施設
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【窒化シリコンメンブレングリッド(ウィンドウ数:1) SiN Membrane Windows Grid】
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TEMサンプルホルダーに対応(フレーム外径:3mm)
耐熱性メンブレングリッドです。
TEM,AFM試料を共用できます。 |
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フレーム厚(μm) |
SiN膜厚(nm) |
ウィンドウサイズ゙(mm角) |
枚数 |
税別価格 |
型式 |
100 |
100 |
0.5 |
10 |
お問合せ |
4131SN-BA |
50 |
お問合せ |
4132SN-BA |
30 |
お問合せ |
4192SN-BA |
200 |
150 |
1.0 |
10 |
お問合せ |
4161SN-BA |
100 |
お問合せ |
4112SN-BA |
50 |
お問合せ |
4135SN-BA |
30 |
お問合せ |
4162SN-BA |
200 |
500 |
0.5 |
10 |
お問合せ |
4109SN-BA |
200 |
お問合せ |
4120SN-BA |
150 |
お問合せ |
4121SN-BA |
100 |
お問合せ |
4122SN-BA |
75 |
お問合せ |
4123SN-BA |
50 |
お問合せ |
4124SN-BA |
30 |
お問合せ |
4125SN-BA |
20 |
お問合せ |
4159SN-BA |
200 |
500 |
0.25 |
10 |
お問合せ |
4098SN-BA |
200 |
お問合せ |
4099SN-BA |
150 |
お問合せ |
4100SN-BA |
100 |
お問合せ |
4101SN-BA |
75 |
お問合せ |
4102SN-BA |
50 |
お問合せ |
4103SN-BA |
30 |
お問合せ |
4104SN-BA |
20 |
お問合せ |
4105SN-BA |
200 |
500 |
0.10 |
10 |
お問合せ |
4091SN-BA |
200 |
お問合せ |
4092SN-BA |
150 |
お問合せ |
4093SN-BA |
100 |
お問合せ |
4094SN-BA |
75 |
お問合せ |
4095SN-BA |
50 |
お問合せ |
4096SN-BA |
30 |
お問合せ |
4097SN-BA |
20 |
お問合せ |
4107SN-BA |
200 |
100 |
0.05 |
10 |
お問合せ |
4088SN-BA |
30 |
お問合せ |
4090SN-BA |
20 |
お問合せ |
4063SN-BA |
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【窒化シリコンメンブレングリッド - ウェットセルキット】
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Wet Cell 試料作製用に、上記窒化シリコンメンブレングリッドと
ブランクグリッド、接着剤がセットになりました。
膜厚(nm) |
キット内容 |
税別価格 |
型式 |
20 |
・20nmメンブレン付グリッド 10枚
・ブランク(膜無し)グリッド 10枚
・細胞接着用 接着剤 1 ヶ |
お問合せ |
6020WC-BA |
30 |
・30nmメンブレン付グリッド 10枚
・ブランク(膜無し)グリッド 10枚
・細胞接着用 接着剤 1 ヶ |
お問合せ |
6030WC-BA |
50 |
・50nmメンブレン付グリッド 10枚
・ブランク(膜無し)グリッド 10枚
・細胞接着用 接着剤 1 ヶ |
お問合せ |
6050WC-BA |
100 |
・100nmメンブレン付グリッド 10枚
・ブランク(膜無し)グリッド 10枚
・細胞接着用 接着剤 1 ヶ |
お問合せ |
6100WC-BA |
※グリッドサイズ⇒フレーム厚:200μm ウィンドウサイズ:0.5mm |
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【シリコンメンブレングリッド Silicon Membrane Window TEM Grids】
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TEMサンプルホルダーに対応
(フレーム外径:3mm) |
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~ラインナップ増加詳細~
◆各種シリコンメンブレングリッドに、フレーム厚が100μmのものが
加わりました。
⇒200μm厚のものよりフレームが薄くなったことで、
ダブルチルト試料ホルダーで高角度画像を得ることがでます。
◆窒化シリコンメンブレングリッドに、膜厚が20nmのものが加わりました。
◆窒化シリコンメンブレングリッドに、ウィンドウサイズが
“1000×1000μm”・“500×500μm”・“100×100μm”のものが加わりました。 |
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スクエアタイプ |
スロットタイプ |
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<ピュアシリコンメンブレングリッド>
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TEMサンプルホルダーに対応(フレーム外径:3mm)
◆シリコンメンブレン(シリコン)
・15、9、5nm厚アモルファスシリコン
・高解像度、高分解能イメージ
・プラズマ洗浄可能 |
膜種 |
フレーム厚(μm) |
膜厚(nm) |
ウィンドウ |
数量(枚) |
税別価格 |
型式 |
タイプ |
サイズ(μm) |
数 |
シリコン |
100 |
15 |
スクエア |
100×100(8)
100×350(1) |
9 |
10 |
お問合せ |
US100-A15Q33 |
9 |
お問合せ |
US100-A09Q33 |
5 |
50×50(8)
50×100(1) |
お問合せ |
US100-A05Q33A |
15 |
スロット |
100×1500 |
2 |
お問合せ |
US100-A15L |
9 |
お問合せ |
US100-A09L |
5 |
50×1500 |
お問合せ |
US100-A05L |
- |
25×25 |
1 |
お問合せ |
US100-A05Q00 |
⇒ 各メンブレンの比較 についてはこちら |
<酸化シリコンメンブレングリッド(酸化シリコン)>
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膜種 |
フレーム厚(μm) |
膜厚(nm) |
ウィンドウ |
数量
(枚) |
税別価格 |
型式 |
タイプ |
サイズ(μm) |
数 |
酸化シリコン |
100 |
40 |
スクエア |
100×100(8)
100×350(1) |
9 |
10 |
お問合せ |
SO100-A40Q33 |
20 |
50×50(8)
50×100(1) |
お問合せ |
SO100-A20Q33A |
|
⇒ 各メンブレンの比較 についてはこちら |
<窒化シリコンメンブレングリッド(窒化シリコン)>
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膜種 |
フレーム厚(μm) |
膜厚(nm) |
ウィンドウ |
数量(枚) |
税別価格 |
型式 |
タイプ |
サイズ(μm) |
数 |
窒化
シリコン |
100 |
50 |
スクエア |
100×100(8)
100×350(1) |
9 |
10 |
お問合せ |
SN100-A50Q33 |
- |
100×100 |
1 |
お問合せ |
SN100-A50Q01 |
500×500 |
1 |
お問合せ |
SN100-A50Q05 |
1000×1000 |
1 |
お問合せ |
SN100-A50Q10 |
20 |
スクエア |
100×100(8)
100×350(1) |
9 |
お問合せ |
SN100-A20Q33 |
- |
500×500 |
1 |
お問合せ |
SN100-A20Q05 |
10 |
スクエア |
100×100(8)
100×350(1) |
9 |
お問合せ |
SN100-A10Q33 |
スロット |
250×250(8)
250×500(1) |
9 |
お問合せ |
SN100-A10Q33B |
5 |
スクエア |
50×50(8)
50×100(1) |
9 |
お問合せ |
SN100-A05Q33A |
- |
25×25 |
1 |
お問合せ |
SN100-A05Q00 |
|
⇒ 各メンブレンの比較 についてはこちら |
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【窒化シリコンメンブレンアレイグリッド Silicon Membrane Window Array Grid】
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窒化珪素メンブレングリッドを整列させたアレイグリッドです。
標準的なTEMグリッドに専用設計されたものとスピンコーター用のものがあります。 |
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フレームの
サイズ(mm) |
ウインドウ |
列 |
メンブレン数 |
税別価格 |
型式 |
膜厚(nm) |
サイズ(mm) |
2.65×2.65 |
100 |
0.5 |
7×7 |
49 |
お問合せ |
4134SN-AB |
50 |
お問合せ |
4151SN-AB |
3.0×3.0 |
100 |
0.5 |
6×6 |
36 |
お問合せ |
4138SN-AB |
5.0×5.0 |
100 |
1 |
4×4 |
16 |
お問合せ |
4139SN-AB |
7.5×7.5 |
100 |
2 |
3×3 |
9 |
お問合せ |
4141SN-AB |
10.0×10.0 |
100 |
3 |
2×2 |
4 |
お問合せ |
4142SN-AB |
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【各メンブレングリッドの比較】
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メンブレンの種類 |
シリコンメンブレン |
多孔性
シリコンメンブレン |
酸化シリコン
メンブレン |
窒化シリコン
メンブレン |
(参照) |
(参照) |
アモルファス
(非結晶)
シリコン膜 |
多孔ナノ結晶性
シリコン膜 |
二酸化シリコン膜 |
窒化シリコン膜 |
標準カーボン膜 |
極薄カーボン膜 |
メンブレン厚 |
5 , 9 , 15 nm |
15 nm |
20 , 40 nm |
50 , 20 nm |
20 - 50 nm |
5 - 10 nm |
画質 |
優れている |
良い |
有効 |
有効 |
有効 |
有効 |
プラズマ
洗浄 |
可 |
可 |
可 |
可 |
不可 |
不可 |
物質解析
バックグラウンド |
Siのみ |
Siのみ |
Si,O |
Si,N |
C,H |
C,H |
熱的安定性 |
~600℃ |
~1000℃ |
~1000℃ |
~1000℃ |
~400℃ |
~400℃ |
化学安定性 |
強塩は避ける |
強塩は避ける |
有効 |
優れている |
有効 |
有効 |
高ビーム電流 |
優れている |
優れている |
有効 |
有効 |
優れている |
優れている |
コンタミネーションの
可能性 |
なし |
なし |
なし |
なし |
カーボン |
カーボン |
ナノスケール気孔 |
なし |
あり |
なし |
なし |
なし |
なし |
バックグラウンド |
なし |
ナノ結晶 |
なし |
なし |
なし |
なし |
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※表中の優位差の順位:優れている>良い>有効 |
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