製品・サービス情報
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X線窒化シリコンメンブレン(X-Ray Silicon Nitride Windows - Single Window)
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X-Rayウィンドウは、X線/電子線フィルタ、X線発光/分光法に最適です。

(アプリケーション)
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●X線顕微鏡、電子顕微鏡隔壁窓
●電子線、ビーム透過真空窓
●X線/電子線フィルタ |
(特長)
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| プラズマクリーニング |
窒化シリコン膜は、プラズマクリーニングにより有機汚染物を除去することができます。 |
| 均一性 |
均一に蒸着されたLPCVD窒化シリコンは、低フィールド間変動と高いX線透過を実現。 |
| 堅固 |
窒化シリコン膜は平坦で、絶縁性および疎水性で、圧力と温度の耐性が高い。 |
| メンブレン |
フレームサイズ
(mm) |
フレーム厚
(μm) |
メンブレン厚
(nm) |
ウィンドウサイズ
(μm) |
枚数 |
税別価格 |
型式 |
| 窒化シリコン |
5×5 |
320 |
50nm |
500×500 |
10枚 |
お問合せ |
X05-A50Q05 |
| 1000×1000 |
お問合せ |
X05-A50Q10 |
| 100nm |
500×500 |
お問合せ |
X05-A100Q05 |
| 1000×1000 |
お問合せ |
X05-A100Q10 |
| 窒化シリコン |
10×10 |
50nm |
500×500 |
お問合せ |
X10-A50Q05 |
| 100nm |
500×500 |
お問合せ |
X10-A100Q05 |
| 1000×1000 |
お問合せ |
X10-A100Q10 |
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加熱・電気バイアス-窒化シリコンメンブレンLift-Outグリッド
(Silicon Nitride Lift-Out Grids for Heating & Electrical biasing)
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金電極付窒化シリコンメンブレングリッドは、電気バイアス(電圧/電流)、サンプル加熱による TEM 観察を可能にします。
| ● |
Flip-stage SEM/FIBホルダー、TEMホルダーに適合 |
| ● |
400nm膜厚窒化シリコンメンブレン(100×500μm) |
| ● |
窒化シリコンメンブレンは、FIBにより、電子透過(50nm以下)可能な厚さに加工できます。 |
| ● |
金電極:電気バイアス回路、サンプル加熱アプリケーション |
| ● |
試料調整、薄膜加工のための簡単なアクセスエッジを提供し、ウィンドウ100×500μmの長さに沿って、浮遊側に400nm厚窒化シリコンメンブレンが備えられています。 |
| 品名 |
メンブレン厚 |
フレーム厚 |
メンブレンサイズ
(リフトアウト開口部) |
電極 |
イメージ |
枚数 |
税別価格 |
型式 |
| 金接点付き窒化シリコンメンブレン |
400nm |
100μm |
100μm×500μm |
有り |
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10枚 |
お問合せ |
SN100-LFT-Au |
| 金接点無し窒化シリコンメンブレン |
400nm |
100μm |
100μm×500μm |
- |
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10枚 |
お問合せ |
SN100-LFT |

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窒化シリコンメンブレン(Silicon Nitride Grids)
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| 膜種 |
フレーム厚(μm) |
膜厚(nm) |
ウィンドウ |
数量(枚) |
税別価格 |
型式 |
| タイプ |
サイズ(μm) |
数 |
| 窒化シリコン |
100 |
50 |
スクエア |
100x100(8)
100x350(1) |
9 |
10 |
お問合せ |
SN100H-A50Q33 |
| - |
100x100 |
1 |
お問合せ |
SN100H-A50Q01 |
| 500x500 |
1 |
お問合せ |
SN100H-A50Q05 |
| 1000x1000 |
1 |
お問合せ |
SN100H-A50Q10 |
| 20 |
スクエア |
100x100(8)
100x350(1) |
9 |
お問合せ |
SN100H-A20Q33 |
| - |
500x500 |
1 |
お問合せ |
SN100H-A20Q05 |
| 10 |
スクエア |
100x100(8)
100x350(1) |
9 |
お問合せ |
SN100H-A10Q33 |
| スロット |
250x250(8)
250x500(1) |
9 |
お問合せ |
SN100H-A10Q33B |
| 5 |
スクエア |
50x50(8)
50x100(1) |
9 |
お問合せ |
SN100H-A05Q33A |
| - |
25x25 |
1 |
お問合せ |
SN100H-A05Q00 |
| スロット |
50x1500 |
2 |
お問合せ |
SN100H-A05L |
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シリコンメンブレン(Pure Silicon Grids)
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| 膜種 |
フレーム厚(μm) |
膜厚(nm) |
ウィンドウ |
数量(枚) |
税別価格 |
型式 |
| タイプ |
サイズ(μm) |
数 |
| シリコン |
100 |
15 |
スクエア |
100x100(8)
100x350(1) |
9 |
10 |
お問合せ |
US100H-A15Q33 |
| 9 |
お問合せ |
US100H-A09Q33 |
| 5 |
50x50(8)
50x100(1) |
お問合せ |
US100H-A05Q33A |
| 15 |
スロット |
100x1500 |
2 |
お問合せ |
US100H-A15L |
| 9 |
お問合せ |
US100H-A09L |
| 5 |
50x1500 |
お問合せ |
US100H-A05L |
| - |
25x25 |
1 |
お問合せ |
US100-A05Q00 |
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酸化シリコンメンブレン(Silicon Dioxide Grids)
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| 膜種 |
フレーム厚(μm) |
膜厚(nm) |
ウィンドウ |
数量(枚) |
税別価格 |
型式 |
| タイプ |
サイズ(μm) |
数 |
| 酸化シリコン |
100 |
40 |
スクエア |
100x100(8)
100x350(1) |
9 |
10 |
お問合せ |
SO100-A40Q33 |
| 20 |
50x50(8)
50x100(1) |
お問合せ |
SO100-A20Q33A |
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ナノ多孔質膜チップ(Nanoporous Membrane Chips)
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| 膜種 |
フレームサイズ(mm) |
膜厚(nm) |
ウィンドウ |
数量(枚) |
税別価格 |
型式 |
| タイプ |
サイズ(μm) |
数 |
| ナノ多孔質窒化シリコン |
5.4x5.4 |
100 |
スロット |
700x2000 |
1 |
10 |
お問合せ |
NPSN100.C-1LZ.0 |
| 700x2500 |
2 |
お問合せ |
NPSN100.C-2LY.3 |
| 700x2500 |
3 |
お問合せ |
NPSN100.C-2LZ.4 |
| 300x3000 |
4 |
お問合せ |
NPSN100.C-4LW.2 |
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マイクロ多孔質膜チップ(Microporous Membrane Chips)
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| 膜種 |
フレームサイズ(mm) |
膜厚(nm) |
ウィンドウ |
数量(枚) |
税別価格 |
型式 |
| タイプ |
サイズ(μm) |
数 |
| マイクロ多孔質窒化シリコン |
5.4x5.4 |
400 |
スロット |
700x3000 |
3 |
10 |
お問合せ |
MPSN400.C-3LX.1-0.5L1 |
| 400 |
2000 |
1 |
お問合せ |
MPSN400.C-1Q20.0-0.5L1 |
| 400 |
700x3000 |
3 |
お問合せ |
MPSN400.C-3LX.1-3.0L1 |
| 400 |
700x3000 |
3 |
お問合せ |
MPSN400.C-3LX.1-8.0L1 |
| 1000 |
300x3000 |
3 |
お問合せ |
MPSN1000.C-1Q30.0-20.OP1 |
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【各メンブレングリッドの比較】
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| メンブレンの種類 |
シリコンメンブレン |
多孔性
シリコンメンブレン |
酸化シリコン
メンブレン |
窒化シリコン
メンブレン |
(参照) |
(参照) |
アモルファス
(非結晶)
シリコン膜 |
多孔ナノ結晶性
シリコン膜 |
二酸化シリコン膜 |
窒化シリコン膜 |
標準カーボン膜 |
極薄カーボン膜 |
| メンブレン厚 |
5 , 9 , 15 nm |
15 nm |
20 , 40 nm |
50 , 20 nm |
20 - 50 nm |
5 - 10 nm |
| 画質 |
優れている |
良い |
有効 |
有効 |
有効 |
有効 |
プラズマ
洗浄 |
可 |
可 |
可 |
可 |
不可 |
不可 |
物質解析
バックグラウンド |
Siのみ |
Siのみ |
Si,O |
Si,N |
C,H |
C,H |
| 熱的安定性 |
~600℃ |
~1000℃ |
~1000℃ |
~1000℃ |
~400℃ |
~400℃ |
| 化学安定性 |
強塩は避ける |
強塩は避ける |
有効 |
優れている |
有効 |
有効 |
| 高ビーム電流 |
優れている |
優れている |
有効 |
有効 |
優れている |
優れている |
コンタミネーションの
可能性 |
なし |
なし |
なし |
なし |
カーボン |
カーボン |
| ナノスケール気孔 |
なし |
あり |
なし |
なし |
なし |
なし |
| バックグラウンド |
なし |
ナノ結晶 |
なし |
なし |
なし |
なし |
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| ※表中の優位差の順位:優れている>良い>有効 |
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