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SPI Supplies社製品 Sputter Coater / Carbon Coater
スパッタコーター / カーボンコーター

 ※ 豊富なオプションにより多彩な組合せが可能です。


外観


Sputter Coater Carbon Coater
スパッタコーター(エッチモード付き)
Sputter Coater System
カーボンコーター
Carbon Coater System
Sputter Coater/Carbon Coater
スパッター/カーボンコーター
Sputter/Carbon Coaters System


特長


省スペース/ベンチトップスパッターコーター
速いコーティング(20秒で200Aまでの金コーティング)-サンプルへの熱損傷がありません。
スパッタリング/エッチチングが可能
サンプルステージの可動により、ターゲットとの距離が調整可能
不活性ガス-IN/OUTポート/サンプルステージの冷却が可能
各種ターゲット(Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag)を用意(オプション)
CE、RoHS(Restriction on Hazardous Substances):EUにおける危険物質に対する規制適合
豊富なオプションにより多彩な組合せが可能(※下記参照)
例)①エッチモード付 ②膜厚モニター付 ③エッチモード+膜厚モニター付


 仕様


●真空制御ベースユニット
寸法 480(W)×310(D)×110(H)mm
チャンバー 102(外径)×127(H)mm Pyrex製
サンプルステージ 63.5 mmφ、ステージ上下移動調整可能
カソード 57 mmφ
ターゲット Au, Au/Pd, Pt, Pd, Ag
各種ターゲット  254 μm厚
Auターゲット 76 μm厚(装置付属)
真空表示 ピラニー式真空ゲージ
ガス調節機構 ニードルバルブ
温度調整機能 循環水冷用IN-OUTポート
(循環恒温槽取付可能)
●水晶振動子膜厚モニター
寸法 真空制御ベースユニットに組込
膜厚設定 サムホイール設定
膜厚表示 デジタル表示、膜厚モニター(水晶振動子)

●スパッターコーターモジュール
寸法 260(W)×310(D)×150(H)mm
エッチング スパッタ/エッチモード モジュール

●カーボンコーターモジュール
寸法 260(W)×310(D)×150(H)mm
蒸着ヘッド カーボンファイバーヘッド(標準付属)
カーボンロッドヘッド
蒸着用カーボン カーボンファイバー(標準カーボン蒸着ヘッド用)、
カーボンロッド(カーボン蒸着ヘッド用)


 価格


●Sputter Coater system
型式 12151-AB 12151E-AB 12151Q-AB 12151EQ-AB
タイプ ベーシック(Basic) エッチモード付き 膜厚モニター付き エッチモード付き
膜厚モニター付き
電源 AC110V 50Hz(60Hz)
付属品 Auターゲット 76 μm厚 / カソード 57 mmφ
構成 真空制御ベースユニット
スパッターコーターモジュール
エッチモード エッチモード
水晶振動子膜厚モニター
税別価格 ¥2,000,000- ¥2,280,000- ¥2,340,000- ¥2,640,000-

●Carbon Coaters system
型式 11427-AB
電源 AC110V 50Hz(60Hz)
構成 真空制御ベースユニット
カーボンコータモジュール(カーボンファイバーヘッド付)
税別価格 ¥2,000,000-

●Sputter/Carbon Coaters system
型式 12155-AB 12155E-AB 12155Q-AB 12155EQ-AB
タイプ ベーシック(Basic) エッチモード付き 膜厚モニター付き エッチモード付き
膜厚モニター付き
電源 AC110V 50Hz(60Hz)
付属品 Auターゲット 76 μm厚 / カソード 57 mmφ
構成 真空制御ベースユニット
カーボンコーターモジュール(カーボンファイバーヘッド付)
スパッターコーターモジュール
エッチモード エッチモード
水晶振動子膜厚モニター
※カーボンコーターには使用できません。
税別価格 ¥2,720,000- ¥3,020,000- ¥3,070,000- ¥3,370,000-


オプション


●スパッターコーター用
製品名 仕様 税別価格 型式
Gold (100%) Cathode電極 57mm dia. solid disc
10 mils (0.254 mm) thick
¥315,000 14155-AB
60% Gold/40% Palladium cathode電極 ¥212,000 14156-AB
Platinum (100%) Cathode電極 ¥351,000 14157-AB
Palladium (100%) Cathode電極 ¥201,000 14158-AB
Silver (100%) Cathode電極 ¥87,000 14163-AB

●カーボンコーター用

製品名 仕様 税別価格 型式
蒸着用カーボンファイバー消耗品
(カーボンファイバーヘッド用(標準品)
1m, 約 2 mmφ ¥6,000 11431-AB
1m, 約 1.3 mmφ ¥11,000 11436-AB
1m, 1 mmφ ¥11,000 11435-AB
1m, 約 0.8 mmφ ¥5,000 11433-AB

製品名  仕様 税別価格 型式
蒸着用カーボンロッドヘッド(オプションヘッド)  - ¥283,000 11439-AB
カーボンロッド Spectroscopic Purityグレード ロッド 300mm x 1/8"(3.2 mm)φ (10本入) ¥17,000 01685-BA
Spectroscopic Purityグレード ロッド 300mm x 1/4"(6.35 mm)φ (10本入) ¥18,000 01686-BA
Spectroscopic Purityグレード ロッド 300mm x 3/16"(4.76 mm)φ (10本入) ¥18,000 01688-BA

お問い合わせ Scientific Instruments: si-support@filgen.jp P.052-624-4388 https://filgen.jp/
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