製品・サービス情報
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SPI Supplies社製品 Sputter Coater / Carbon Coater
スパッタコーター / カーボンコーター |
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※ 豊富なオプションにより多彩な組合せが可能です。
 外観
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スパッタコーター（エッチモード付き）
Sputter Coater System |
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カーボンコーター
Carbon Coater System |
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スパッター/カーボンコーター
Sputter/Carbon Coaters System |
 特長
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● |
省スペース/ベンチトップスパッターコーター |
| ● |
速いコーティング(20秒で200Aまでの金コーティング)-サンプルへの熱損傷がありません。 |
| ● |
スパッタリング/エッチチングが可能 |
| ● |
サンプルステージの可動により、ターゲットとの距離が調整可能 |
| ● |
不活性ガス-IN/OUTポート/サンプルステージの冷却が可能 |
| ● |
各種ターゲット（Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag）を用意（オプション） |
| ● |
CE、RoHS（Restriction on Hazardous Substances）:EUにおける危険物質に対する規制適合 |
| ● |
豊富なオプションにより多彩な組合せが可能(※下記参照) |
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例）①エッチモード付 ②膜厚モニター付 ③エッチモード＋膜厚モニター付 |
 仕様
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●真空制御ベースユニット |
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| 寸法 |
480(W)×310(D)×110(H)mm |
| チャンバー |
102(外径)×127(H)mm Pyrex製 |
| サンプルステージ |
63.5 mmφ、ステージ上下移動調整可能 |
| カソード |
57 mmφ |
| ターゲット |
Au, Au/Pd, Pt, Pd, Ag
各種ターゲット 254 μm厚 |
| Auターゲット 76 μm厚（装置付属） |
| 真空表示 |
ピラニー式真空ゲージ |
| ガス調節機構 |
ニードルバルブ |
| 温度調整機能 |
循環水冷用IN-OUTポート
（循環恒温槽取付可能） |
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●水晶振動子膜厚モニター |
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| 寸法 |
真空制御ベースユニットに組込 |
| 膜厚設定 |
サムホイール設定 |
| 膜厚表示 |
デジタル表示､膜厚モニター（水晶振動子） |
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●スパッターコーターモジュール |
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| 寸法 |
260(W)×310(D)×150(H)mm |
| エッチング |
スパッタ/エッチモード モジュール |
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●カーボンコーターモジュール |
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| 寸法 |
260(W)×310(D)×150(H)mm |
| 蒸着ヘッド |
カーボンファイバーヘッド(標準付属)
カーボンロッドヘッド |
| 蒸着用カーボン |
カーボンファイバー(標準カーボン蒸着ヘッド用)、
カーボンロッド(カーボン蒸着ヘッド用) |
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 価格
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●Sputter Coater system |
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| 型式 |
12151-AB |
12151E-AB |
12151Q-AB |
12151EQ-AB |
| タイプ |
ベーシック(Basic) |
エッチモード付き |
膜厚モニター付き |
エッチモード付き
膜厚モニター付き |
| 電源 |
AC110V 50Hz(60Hz) |
| 付属品 |
Auターゲット 76 μm厚 / カソード 57 mmφ |
| 構成 |
真空制御ベースユニット |
| スパッターコーターモジュール |
| ― |
エッチモード |
― |
エッチモード |
| ― |
水晶振動子膜厚モニター |
| 税別価格 |
お問合せ |
お問合せ |
お問合せ |
お問合せ |
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●Carbon Coaters system |
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| 型式 |
11427-AB |
| 電源 |
AC110V 50Hz(60Hz) |
| 構成 |
真空制御ベースユニット |
| カーボンコータモジュール（カーボンファイバーヘッド付） |
| 税別価格 |
お問合せ |
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●Sputter/Carbon Coaters system |
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| 型式 |
12155-AB |
12155E-AB |
12155Q-AB |
12155EQ-AB |
| タイプ |
ベーシック(Basic) |
エッチモード付き |
膜厚モニター付き |
エッチモード付き
膜厚モニター付き |
| 電源 |
AC110V 50Hz(60Hz) |
| 付属品 |
Auターゲット 76 μm厚 / カソード 57 mmφ |
| 構成 |
真空制御ベースユニット |
| カーボンコーターモジュール（カーボンファイバーヘッド付) |
| スパッターコーターモジュール |
| ― |
エッチモード |
― |
エッチモード |
| ― |
水晶振動子膜厚モニター
※カーボンコーターには使用できません。 |
| 税別価格 |
お問合せ |
お問合せ |
お問合せ |
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オプション
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●スパッターコーター用
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| 製品名 |
仕様 |
税別価格 |
型式 |
| Gold (100%) Cathode電極 |
57mm dia. solid disc
10 mils (0.254 mm) thick |
お問合せ |
14155-AB |
| 60% Gold/40% Palladium cathode電極 |
お問合せ |
14156-AB |
| Platinum (100%) Cathode電極 |
お問合せ |
14157-AB |
| Palladium (100%) Cathode電極 |
お問合せ |
14158-AB |
| Silver (100%) Cathode電極 |
お問合せ |
14163-AB |
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●カーボンコーター用
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| 製品名 |
仕様 |
税別価格 |
型式 |
蒸着用カーボンファイバー消耗品
（カーボンファイバーヘッド用（標準品） |
1m, 約 2 mmφ |
お問合せ |
11431-AB |
| 1m, 約 1.3 mmφ |
お問合せ |
11436-AB |
| 1m, 1 mmφ |
お問合せ |
11435-AB |
| 1m, 約 0.8 mmφ |
お問合せ |
11433-AB |
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| 製品名 |
仕様 |
税別価格 |
型式 |
| 蒸着用カーボンロッドヘッド（オプションヘッド） |
- |
お問合せ |
11439-AB |
| カーボンロッド |
Spectroscopic Purityグレード ロッド |
300mm x 1/8"(3.2 mm)φ (10本入） |
お問合せ |
01685-BA |
| Spectroscopic Purityグレード ロッド |
300mm x 1/4"(6.35 mm)φ (10本入） |
お問合せ |
01686-BA |
| Spectroscopic Purityグレード ロッド |
300mm x 3/16"(4.76 mm)φ (10本入） |
お問合せ |
01688-BA |
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