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スパッタターゲット / ターゲット合成サービス

ターゲット合成サービス

高純度の材料を原料とした高品質製造、複雑な難加工にも対応可能です。半導体、光デバイス、電池用の各種薄膜材料向けにターゲットを合成しています。

【ターゲットの仕様】
材質 金属、合金、酸化物、ホウ化物、炭化物、フッ化物、窒化物、硫化物
純度 99~99.9999%
形状 円形、長方形 など
オプション 銅バッキングプレートへのボンディング加工

【過去の受託事例】
ターゲット
LaB6, purity 99.5%, φ50x3mm
CrB2, purity 99.5%, φ50x3mm
TiB2, purity 99.5%, φ50x3mm
ZrVFe, 5x5x1mm
Ag, purity 99.9%, 15x300x0.265mm

【お問合せ方法】

以下のご要望を、E-mail(biosupport@filgen.jp)またはFax(052-624-4389)にて、弊社までお問合せください。
ターゲット
1.材質
2.純度
3.形状
4.ボンディング加工の有無
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お問い合わせ 試薬部: biosupport@filgen.jp P.052-624-4388 https://filgen.jp/
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