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Innovative Solution Bulgaria社(Mikromasch)製品
SPM(Scanning Probe Microscope)関連消耗品
SPMプローブ・HQプローブ / SPMプローブ・OPUSプローブ
SPM較正用グレーティング / テストサンプル


SPM較正用グレーティング


●TGXシリーズ

SEM image of a TGX01 grating
●横方向較正 TGX
ステップ高 ピッチ 有効エリア 基板サイズ 数量 税別価格 型式
1.0μm 3.0μm 1×1mm 5×5×0.3mm 1 ¥45,000 TGX

●TGXYZシリーズ

SEM image of a TGXYZ grating
●X-Y-Z軸較正 TGXYZ
ステップ高 ピッチ 有効エリア 基板サイズ 数量 税別価格 型式
20 nm 5.0 and 10μm 1×1mm 5×5×0.3mm 1 ¥45,000 TGXYZ01
100 nm TGXYZ02
500 nm TGXYZ03

●TGFシリーズ
●垂直方向較正 TGF
ピッチ エッジ角度 有効エリア 基板サイズ 数量 税別価格 型式
10 and 0.1μm 54°74’ 3×3mm 5×5×0.3mm 1 ¥45,000 TGF11


テストサンプル


●多孔質アルミニウム

穴の深さ ピッチ 有効エリア 外寸法 箔厚 税別価格 型式
40nm 100±10nm 3×3mm 5×5×0.3mm 500nm ¥45,000 PA01

●グラファイト基板

グレード MS値 サイズ 厚み 数量 税別価格 型式
ZYH 3.5°±0.5°  10×10mm 1mm 5 ¥53,000 HOPG/ZYH/DS/1-5
1mm 1 ¥17,000 HOPG/ZYH/DS/1-1
2mm 5 ¥72,000 HOPG/ZYH/DS/2-5
2mm 1 ¥22,000 HOPG/ZYH/DS/2-1
ZYB 0.8°±0.2° 1mm 1 ¥29,000 HOPG/ZYB/DS/1-1
ZYA 0.4°±0.1° 1mm 1 ¥92.000 HOPG/ZYA/DS/1-1
2mm 1 ¥135,000 HOPG/ZYA/DS/2-1
※これ以外のサイズ・形状の特別仕様も承ります。お気軽にお問合わせ下さい

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