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Home製品・サービス情報試薬・材料・消耗品>Mikromasch社製品 SPM関連消耗品

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+ Mikromasch
SPMプローブ/HQプローブ
-スタンダードプローブ
-長寿命プローブ
-高分解能プローブ
-導電性プローブ
-磁気プローブ
-ティップレスプローブ
-SPMプローブの仕様
SPMプローブ/OPUSプローブ
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Innovative Solution Bulgaria社製品(Mikromasch)
SPM(Scanning Probe Microscope)関連消耗品
SPMプローブ・HQプローブ / SPMプローブ・OPUSプローブ)
SPM較正用グレーティング / テストサンプル


SPMプローブ/HQプローブの概要

スタンダードプローブ/ 長寿命プローブ /高分解能プローブ/導電性プローブ/磁気プローブ/ティップレスプローブ / SPMプローブの仕様

スタンダードプローブ

チップの先端が10nm以下のスタンダードプローブからは、多種多様なサンプルにおいて、高品質な画像を得られます。硬く、先端に弱い引力を示す球状粒子をスキャンする時に、最高の解像度が得られます。
コンタクトモードでは、1N/M以下の小さいバネ定数を有するプローブを必要とします。中間バネ定数及び共振周波数を有するカンチレバーは、タッピングモードで大部分のサンプルに適しています。ノンコンタクトモードでは、高周波プローブが必要です。
 ・コンタクトモード: HQ:NSC17/Al BS
 ・ノンコンタクトモード: HQ:NSC15/Al BS
 ・タッピングモード: 硬質サンプルに関するハイコントラスト(大きいバネ定数) HQ:NSC15/Al BS
            : トポグラフィーイメージング(中間のバネ定数) HQ:NSC14/Al BS
            : 中間の硬さのサンプル(低いバネ定数) HQ:NSC19/Al BS
主な仕様 15chips(数量)
税別価格 型式
1レバー
ティップコート無し
裏面アルミコート
¥60,000 HQ:NSC14/AlBS-15
HQ:NSC15/AlBS-15
HQ:NSC16/AlBS-15
HQ:CSC17/AlBS-15
HQ:NSC18/AlBS-15
HQ:NSC19/AlBS-15
1レバー
ティップコート無し
裏面コート無し
¥60,000 HQ:NSC14/No Al-15
HQ:NSC15/No Al-15
HQ:NSC16/No Al-15
HQ:CSC17/No Al-15
HQ:NSC18/No Al-15
HQ:NSC19/No Al-15
3レバー
ティップコート無し
裏面アルミコート
¥65,000 HQ:NSC35/AlBS-15
HQ:NSC36/AlBS-15
HQ:CSC37/AlBS-15
HQ:CSC38/AlBS-15
3レバー
ティップコート無し
裏面コート無し
¥65,000 HQ:NSC35/No Al-15
HQ:NSC36/No Al-15
HQ:CSC37/No Al-15
HQ:CSC38/No Al-15
4レバー
ティップコート無し
裏面アルミコート
¥84,000 HQ:XSC11/AlBS-15
4レバー
ティップコート無し
裏面コート無し
¥84,000 HQ:XSC11/No Al-15
主な仕様 50/100/200/400chips(数量)
税別価格 型式
1レバー
ティップコート無し
裏面アルミコート
お問合せ HQ:NSC14/AlBS
HQ:NSC15/AlBS
HQ:NSC16/AlBS
HQ:CSC17/AlBS
HQ:NSC18/AlBS
HQ:NSC19/AlBS
1レバー
ティップコート無し
裏面コート無し
お問合せ HQ:NSC14/No Al
HQ:NSC15/No Al
HQ:NSC16/No Al
HQ:CSC17/No Al
HQ:NSC18/No Al
HQ:NSC19/No Al
3レバー
ティップコート無し
裏面アルミコート
お問合せ HQ:NSC35/AlBS
HQ:NSC36/AlBS
HQ:CSC37/AlBS
HQ:CSC38/AlBS
3レバー
ティップコート無し
裏面コート無し
お問合せ HQ:NSC35/No Al
HQ:NSC36/No Al
HQ:CSC37/No Al
HQ:CSC38/No Al
4レバー
ティップコート無し
裏面アルミコート
お問合せ HQ:XSC11/AlBS
4レバー
ティップコート無し
裏面コート無し
お問合せ HQ:XSC11/No Al

長寿命プローブ

表面上の特徴的サイズが30mmより大きく、走査サイズが10μmを上回るAFMのアプリケーションが多くあります。これらのアプリケーションでは、横方向の解像度は汚染および機械的耐久性の能力が、AFMプローブの他の特性に比べて非常に重要です。さらに、多くのAFMのアプリケーションは、サンプルの各種物性(摩擦、インデント、粘着力)の定量的測定を可能にするために、鋭角なチップを必要とします。
 ・コンタクトモード: 耐摩耗性コーティングを有するサンプル HQ:CSC17/Hard/Al BS
 ・タッピングモード: 耐摩耗性コーティングと高力率を有するサンプル HQ:CSC15/Hard/Al BS
主な仕様 15chips(数量)
税別価格 型式
1レバー
DLCコート
裏面アルミコート
¥84,000 HQ:NSC14/Hard/AlBS-15
HQ:NSC15/Hard/AlBS-15
HQ:NSC16/Hard/AlBS-15
HQ:CSC17/Hard/AlBS-15
HQ:CSC18/Hard/AlBS-15
3レバー
DLCコート
裏面アルミコート
¥84,000 HQ:NSC35/Hard/AlBS-15
HQ:NSC36/Hard/AlBS-15
4レバー
DLCコート
裏面アルミコート
¥84,000 HQ:XSC11/Hard/AlBS-15
主な仕様 50chips(数量)
税別価格 型式
1レバー
DLCコート
裏面アルミコート
お問合せ HQ:NSC14/Hard/AlBS-50
HQ:NSC15/Hard/AlBS-50
HQ:NSC16/Hard/AlBS-50
HQ:CSC17/Hard/AlBS-50
HQ:CSC18/Hard/AlBS-50
3レバー
DLCコート
裏面アルミコート
お問合せ NSC35/Si3N4/AlBS-50
NSC36/Si3N4/AlBS-50
4レバー
DLCコート
裏面アルミコート
お問合せ HQ:XSC11/Hard/AlBS-50

高分解能プローブ

多くのAFMは、分子やサブ分子分解能で非破壊的な表面測定のための最適なツールとなってきています。しかし、分解能及び精度はチップの大きさや形状によって制限されます。解像度を高めるためには、チップの大きさやチップと試料の相互作用力を減少させるため工夫が必要です。Hi'Resプローブのラインナップの開発により、これらの障害を克服し、より高い解像度(サブナノメートルのイメージング)を実現しました。Hi'Resプローブは、孔、溝、サブナノメートルの表面粗さを正確に測定すると共に、鋭いエッジや極めて細い形状のより正確な測定を可能にします。さらに、これらのプローブは、柔らかく脆い液状サンプルの画像化にも有効です。
 ・コンタクトモード: 低いバネ定数 Hi'Res-C19/Cr-Au
 ・ノンコンタクトモード: 大きいバネ定数 Hi'Res-C15/Cr-Au
 ・タッピングモード: 培地サンプル Hi'Res-C14/Cr-Au
            : ソフトサンプル Hi'Res-C19/Cr-Au
主な仕様 5chips(数量)
税別価格 型式
高分解能
カーボン
1レバー
裏面アルミコート

¥85,000 Hi'Res-C14/Cr-Au-5
Hi'Res-C15/Cr-Au-5
Hi'Res-C19/Cr-Au-5
主な仕様 15chips(数量)
税別価格 型式
高分解能
カーボン
1レバー
裏面アルミコート
お問合せ Hi'Res-C14/Cr-Au-15
Hi'Res-C15/Cr-Au-15
Hi'Res-C19/Cr-Au-15

導電性プローブ

【電気測定仕様】

シリコンは、ドーパントの存在のために大量に導電しており、プローブの表面は常に薄い(1-2nm)自然酸化物膜によって覆われています。膜を除去した後、AFM測定のために導電率の高いsiプローブを使うことで、UHV条件下で測定可能です。
材料の電気的特性の画像化のために、周囲の条件に応じて、特別な導電コーティングを有するプローブが通常使用されます。
 ・コンタクトモード、ノンコンタクトモードでの電気測定: ディップ白金コートシリーズ
 ・高方位解像度を重視: DPER高分解能プローブシリーズ
 ・低ノイズを重視: DPE低ノイズプローブシリーズ
DPE低ノイズプローブ: 電気特性のスキャンでより良いS/N比にするため、特殊な構造をしたチップ伝導層を有します。
DPER高分解能プローブ: Siチップ上の薄い白金コーティングを堆積させることによって製造されます。平坦なカンチレバー表面上のコーティングの厚さは、約20nmであるが、ノンコートSiプローブと比較して、チップの大きさは10nm大きくなっています。
主な仕様 15chips(数量)
税別価格 型式
電気測定用
高分解能
4レバー
¥96,000 HQ:DPER-XSC11-15
電気測定用
低ノイズ
4レバー
¥96,000 HQ:DPE-XSC11-15
主な仕様 50/100chips(数量)
税別価格 型式
電気測定用
高分解能
4レバー
お問合せ HQ:DPER-XSC11
電気測定用
低ノイズ
4レバー
お問合せ HQ:DPE-XSC11

【ティップ白金コート】

全体に、導電性のある化学的に不活性な30nmの白金コーティングを施したプローブ。プローブの先端半径は、30nm未満です。
主な仕様 15chips(数量)
税別価格 型式
1レバー
ティップ白金コート
裏面アルミコート
¥77,000 HQ:NSC14/Pt-15
HQ:NSC15/Pt-15
HQ:NSC17/Pt-15
HQ:NSC18/Pt-15
3レバー
ティップ白金コート
裏面アルミコート
¥77,000 HQ:NSC35/Pt-15
HQ:NSC36/Pt-15
HQ:CSC37/Pt-15
4レバー
ティップ白金コート
裏面アルミコート
¥84,000 HQ:XSC11/Pt-15
主な仕様 50/100chips(数量)
税別価格 型式
1レバー
ティップ白金コート
裏面アルミコート
お問合せ HQ:NSC14/Pt
HQ:NSC15/Pt
HQ:NSC17/Pt
HQ:NSC18/Pt
3レバー
ティップ白金コート
裏面アルミコート
お問合せ HQ:NSC35/Pt
HQ:NSC36/Pt
HQ:CSC37/Pt
4レバー
ティップ白金コート
裏面アルミコート
お問合せ HQ:XSC11/Pt

【ティップクロム金コート】

カンチレバーの先端に20nmのCr層と、背面側全体に導電性のある化学的に不活性な30nmの金コーティング施したプローブ。
先端半径は、50nm以下です。
主な仕様 15chips(数量)
税別価格 型式
1レバー
ティップクロム
金コート
¥77,000 HQ:NSC14/Cr-Au-15
HQ:NSC15/Cr-Au-15
HQ:NSC16/Cr-Au-15
HQ:CSC17/Cr-Au-15
HQ:NSC18/Cr-Au-15
HQ:NSC19/Cr-Au-15
3レバー
ティップクロム
金コート
¥77,000 HQ:NSC35/Cr-Au-15
HQ:NSC36/Cr-Au-15
HQ:CSC37/Cr-Au-15
HQ:CSC38/Cr-Au-15
主な仕様 50/100chips(数量)
税別価格 型式
1レバー
ティップクロム
金コート
お問合せ HQ:NSC14/Cr-Au
HQ:NSC15/Cr-Au
HQ:NSC16/Cr-Au
HQ:CSC17/Cr-Au
HQ:NSC18/Cr-Au
HQ:NSC19/Cr-Au
3レバー
ティップクロム
金コート
お問合せ HQ:NSC35/Cr-Au
HQ:NSC36/Cr-Au
HQ:CSC37/Cr-Au
HQ:CSC38/Cr-Au

磁気プローブ

主な仕様 15chips(数量)
税別価格 型式
1レバー
コバルトクロームコート
¥84,000 HQ:NSC18/Co-Cr/AlBS-15
3レバー
コバルトクロームコート
¥84,000 HQ:NSC36/Co-Cr/AlBS-15
主な仕様 50chips(数量)
税別価格 型式
1レバー
コバルトクロームコート
お問合せ HQ:NSC18/Co-Cr/AlBS-50
3レバー
コバルトクロームコート
お問合せ HQ:NSC36/Co-Cr/AlBS-50

ティップレスプローブ

主な仕様 15chips(数量)
税別価格 型式
3レバー
ティップ無し
裏面アルミコート
¥65,000 HQ:NSC35/tipless/AlBS-15
HQ:NSC36/tipless/AlBS-15
HQ:CSC37/tipless/AlBS-15
HQ:CSC38/tipless/AlBS-15
3レバー
ティップ無し
裏面コート無し
¥65,000 HQ:NSC35/tipless/No Al-15
HQ:NSC36/tipless/No Al-15
HQ:CSC37/tipless/No Al-15
HQ:CSC38/tipless/No Al-15
3レバー
ティップ無し
クロム金コート
¥77,000 HQ:NSC35/tipless/Cr-Au-15
HQ:NSC36/tipless/Cr-Au-15
HQ:CSC37/tipless/Cr-Au-15
HQ:CSC38/tipless/Cr-Au-15
主な仕様 50/100/200/400chips(数量)
税別価格 型式
3レバー
ティップ無し
裏面アルミコート
お問合せ HQ:NSC35/tipless/AlBS
HQ:NSC36/tipless/AlBS
HQ:CSC37/tipless/AlBS
HQ:CSC38/tipless/AlBS
3レバー
ティップ無し
裏面コート無し
お問合せ HQ:NSC35/tipless/No Al
HQ:NSC36/tipless/No Al
HQ:CSC37/tipless/No Al
HQ:CSC38/tipless/No Al
3レバー
ティップ無し
クロム金コート
お問合せ HQ:NSC35/tipless/Cr-Au
HQ:NSC36/tipless/Cr-Au
HQ:CSC37/tipless/Cr-Au
HQ:CSC38/tipless/Cr-Au


SPMプローブの仕様

■1レバー


種類 共振周波数(kHz) 力定数(N/m)
Min Typ Max Min Typ Max
14シリーズ 110 160 220 1.8 5.0 13
15シリーズ 265 325 410 20 40 80
16シリーズ 170 190 210 30 45 70
17シリーズ 10 13 17 0.06 0.18 0.4
18シリーズ 60 75 90 1.2 2.8 5.5
19シリーズ 25 65 120 0.05 0.5 2.3

■3レバー(NSC35,36)


種類 共振周波数(kHz) 力定数(N/m)
Min Typ Max Min Typ Max
NSC35 A 130 205 290 2.7 8.9 24
B 185 300 430 4.8 16 44
C 95 150 205 1.7 5.4 14
NSC36 A 30 90 160 0.1 1.0 4.6
B 45 130 240 0.2 2 9
C 25 65 115 0.06 0.6 2.7


■3レバー(CSC37,38)


種類 共振周波数(kHz) 力定数(N/m)
Min Typ Max Min Typ Max
CSC37 A 30 40 55 0.3 0.8 2
B 15 20 30 0.1 0.3 0.6
C 20 30 40 0.1 0.4 1
CSC38 A 8 20 32 0.01 0.09 0.36
B 5 10 17 0.003 0.0.3 0.13
C 6 14 23 0.005 0.05 0.21


■3レバーティップレス(NSC35,36)


種類 共振周波数(kHz) 力定数(N/m)
Min Typ Max Min Typ Max
NSC35 A 30 90 160 0.1 1.0 4.6
B 45 130 240 0.2 2 9
C 25 65 115 0.06 0.6 .27
NSC36 A 30 90 160 0.1 1.0 4.6
B 45 130 240 0.2 2 9
C 25 65 115 0.06 0.6 2.7

■3レバーティップレス(CSC37,38)


種類 共振周波数(kHz) 力定数(N/m)
Min Typ Max Min Typ Max
CSC37 A 30 40 55 0.3 0.8 2
B 15 20 30 0.1 0.3 0.6
C 20 30 40 0.1 0.4 1
CSC38 A 8 20 32 0.01 0.09 0.36
B 5 10 17 0.003 0.03 0.13
C 6 14 23 0.005 0.05 0.21

■4レバー


種類 共振周波数(kHz) 力定数(N/m)
Min Typ Max Min Typ Max
CSC37 A 12 15 18 0.1 0.2 0.4
B 60 80 100 1.1 2.7 5.6
C 115 155 200 3 7 16
D 250 350 465 17 42 90

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