製品・サービス情報
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電子顕微鏡試料用 導電性薄膜作製装置
オスミウム・プラズマコーター |
「直流グロー放電による負グロー相領域内でのプラズマ製膜法」を用いた、主にSEM試料用の導電性薄膜作製装置です。 |
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定期メンテナンス（1年点検）を推奨しています。
ご希望の方には、毎年ご指定の月にmailにて定期メンテナンスのご案内をさせて頂くことも可能です。
Oリングは、半年に1度の交換をお勧め致します。
以下の様な不具合が発生したら、メンテナンスが必要です。
オスミウム・プラズマコーター
・到達真空度の値が以前よりも悪くなった。
オスミウム昇華室
・ガス導入ツマミが固くて回しづらくなった。
・アンプルキャップに取り付いているOリングが潰れている。
・前回の定期メンテナンスを行ってから、半年以上経過している。 |
アンプルキャップ |
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作業内容 |
| オスミウム・プラズマコーター |
電磁弁内部品、Oリングなどの部品交換及び真空漏れ検査 |
| オスミウム昇華室 |
Oリングの交換及び 真空漏れ検査 |
| ロータリーポンプ |
ロータリーポンプ用のオイル、オイルミストトラップフィルタ、交換用吸着フィルターの交換 |
※検査・点検中に定期交換部品以外の劣化や破損を確認した場合は、その旨をご連絡し別途お見積させて頂きます。 |
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