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オスミウム・プラズマコーター
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電子顕微鏡試料用 導電性薄膜作製装置
オスミウム・プラズマコーター
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標準タイプ/オプション装着タイプ(導電性超薄膜機構/親水化処理機構/深型試料機構

「直流グロー放電による負グロー相領域内でのプラズマ製膜法」を用いた、主にSEM試料用の導電性薄膜作製装置です。

製品ラインナップ


標準タイプ

オスミウム膜専用タイプ
OPC60A

 数nm ~ 数100nm程度のオスミウム薄膜 を再現性よく製膜することが可能です。
OPC60A
オスミウム膜/プラズマ重合膜 両用タイプ
OPC80T

 数nm ~ 数100nm程度のオスミウム薄膜を再現性よく製膜することが可能です。
 OPC80T ではプラズマ重合膜を製膜することも可能です。
オスミウム・プラズマコーター オスミウムコーター


 オプション装着タイプ


導電性超薄膜機構

0.5 ~ 3nm程度のオスミウム薄膜を再現性良く作成することが可能です。
また、標準タイプのコーティングもご使用頂けます。

 ◎ 低電流方式
 ◎ 混合ガス方式

オスミウム・プラズマコーター オスミウムコーター
親水化処理機構

親水化処理を行うことにより、より密着性の高いオスミウム薄膜を試料表面に作製することができます。
また、標準タイプのコーティングもご使用頂けます。


オスミウム・プラズマコーター オスミウムコーター
深型試料タイプ

従来よりも 30mm 高い試料の製膜が可能です。
また、標準タイプのコーティングもご使用頂けます。

オスミウム・プラズマコーター オスミウムコーター
特注品
 簡易ドラフトフード+排気ユニット

オスミウム・プラズマコーターは、四酸化オスミウムに対する安全性対策を万全に行っており、本来は不要な設備です。
さらなる安全対策をご要望のお客様に、「簡易ドラフトフード+排気ユニット」を特注にて製作可能です。
排気ユニットには、プレフィルター、HEPAフィルター、活性炭フィルターに加え、弊社独自開発のOsO4フィルタが装着されています。
ロータリーポンプの排気ガスも接続可能です。
詳細は、当社までお問合せください。


お問い合わせ 科学機器部1グループ: si-support@filgen.jp P.052-624-4388 https://filgen.jp/
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