製品情報・受託サービス情報 What's New!　製品・サービス情報　ダウンロード　e-mail_news登録　　　　 会社情報 概要　ミッション　アクセス　リクルート　連絡先　ビジネスパートナー　ライセンス　個人情報保護方針 Home＞製品・サービス情報＞科学機器＞オスミウム・プラズマコーター＞製品ラインナップ＞導電性超薄膜製膜機構タイプ English 製品・サービス情報 　　 受託サービス サービス別ラインナップ 　　 科学機器 製品別ラインナップ メーカー別ラインナップ + Filgen ・ オスミウム・プラズマコーター - オスミウム・プラズマコーターについて - フィルジェンが選ばれる理由 - 製品ラインナップ ・タッチパネル式 ・スイッチ式/標準タイプ ・スイッチ式/オプションタイプ 　-導電性超薄膜機構 　-親水化処理機構 　-深型試料機構 - アクセサリー - テクニカルデータ - 受託サービス - メンテナンス 　　 試薬・材料・消耗品 製品別ラインナップ メーカー別ラインナップ 　　 ソフトウェア 製品別ラインナップ メーカー別ラインナップ 電子顕微鏡試料用　導電性薄膜作製装置 オスミウム・プラズマコーター オスミウム・プラズマコーターについて/フィルジェンが選ばれる理由/製品ラインナップ/アクセサリー/テクニカルデータ/受託サービス/メンテナンス タッチパネル式/スイッチ式・標準タイプ/スイッチ式・オプション装着タイプ（導電性超薄膜機構/親水化処理機構/深型試料機構） 「直流グロー放電による負グロー相領域内でのプラズマ製膜法」を用いた、主にSEM試料用の導電性薄膜作製装置です。 導電性超薄膜製膜機構 導電性超薄膜製膜機構を標準タイプにオプション装着することができます。 また、すでにお使い頂いている装置（対応機種）にも、オプション装着することが可能です。 低電流方式のみ、混合ガス方式のみ、低電流方式＋混合ガス方式のいずれもオプション装着可能です。 導電性超薄膜機構（混合ガス方式）と、親水化処理機構は、同時に装着することはできません。 また、オプション装着により、本体の外形寸法と重量が変わります。（詳細はお問合せください。） また、本導電性超薄膜機構については、オスミウム・プラズマコーターの製膜方法に関して特許を取得しています。 特許名称：導電性超薄膜機構（低電流方式） 特許番号：第5419723号 発明の名称：導電性薄膜のプラズマ成膜方法 【超薄膜の膜厚再現性に影響を与える突入電流の影響を抑制】 放電開始初期に定常電流を超えた大量の突入電流が発生します。この突入電流の発生を予想することは難しく、これらの影響を極限まで回避することが、3.0nm以下の超薄膜の膜厚再現性を高めるカギです。 フィルジェンの導電性超薄膜製膜機構では、 電流が流れない真空状態から放電電圧を印加し、OsO4ガス量を徐々に増やし、放電電流をモニターしながら放電時間を制御することで、突入電流の影響を最小限に抑え、超薄膜の高い膜厚再現性を実現します。 （標準タイプと導電性超薄膜製膜機構の比較） - 標準タイプ 導電性超薄膜製膜機構 最小膜厚設定値 1nm 0.1nm スタートスイッチを押してからの流れ OsO4ガス導入 放電電流が流れない真空状態から電圧を印加 ガス導入量制御 OsO4ガス量を徐々に増やす 放電開始 ガス量に応じて徐々に放電電流が増加する 放電終了 放電終了 「低電流方式＋混合ガス方式」と「低電流方式」の装着タイプの比較 OPC80T-LM （低電流方式＋混合ガス方式） OPC80T-L （低電流方式） 従来のオスミウムプラズマコーター（OPC80T）に低電流方式/混合ガス方式を追加したタイプです。 0.5 ～ 3nm程度のオスミウム超薄膜を再現性良く製膜することが可能です。 また、標準タイプの製膜もご使用頂けます。 オスミウム超薄膜―プラズマ重合膜の断面TEM像 はこちらをクリック ⇒テクニカルデータ2-4 従来のオスミウムプラズマコーター（OPC80T）に低電流方式を追加したタイプです。 0.5 ～ 3nm程度のオスミウム超薄膜を再現性良く製膜することが可能です。 また、標準タイプの製膜もご使用頂けます。 オスミウム超薄膜―プラズマ重合膜の断面TEM像 はこちらをクリック ⇒テクニカルデータ2-4 低電流方式と混合ガス方式 ●低電流方式 OsO4ガス濃度が低くてグロー放電が始まらない程度の高真空状態から電圧を印加し、低放電電流で製膜する方式です。放電の初期段階で流れてしまう大きな電流を防ぐことで、再現性を向上させます。 ●混合ガス方式 OsO4ガスに不活性ガスを混入することによってOsO4ガス濃度を低くし、製膜成長を低速度化することで制御を容易にします。不活性ガスのみでの放電も可能な為、エッチングなどの拡張性があります。 税別価格 【装置を新規購入される際に、同時にオプション機構を装着する場合】 オプション機構 対応機種 オプション装着後の型番 税別価格 導電性超薄膜機構 低電流方式 OPC80T OPC80T-L ￥590,000 OPC60A OPC60A-L ￥800,000 導電性超薄膜機構 混合ガス方式 OPC80T OPC80T-M ￥1,100,000 導電性超薄膜機構 低電流方式＋混合ガス方式 OPC80T OPC80T-LM ￥1,690,000 ※ 導電性超薄膜機構（混合ガス方式）と、親水化処理機構は、同時に装着することはできません。 【すでに納入済みの装置にオプション機構を装着する場合】 オプション機構 対応機種 オプション装着後の型番 税別価格 導電性超薄膜機構 低電流方式 OPC80/OPC80T OPC80-L/OPC80T-L お問合せ OPC60/OPC60A OPC60-L/OPC60A-L お問合せ 導電性超薄膜機構 混合ガス方式 OPC80/OPC80T OPC80-M/OPC80T-M お問合せ 導電性超薄膜機構 低電流方式＋混合ガス方式 OPC80/OPC80T OPC80-LM/OPC80T-LM お問合せ ※ 導電性超薄膜機構（混合ガス方式）と、親水化処理機構は、同時に装着することはできません。 ※ 納入済みの装置にオプション機構を追加する場合は、弊社より梱包用のダンボール、あるいはアルミケースをお送り致しますので、梱包してご返送下さい。 ※ 上記価格には、貴社から弊社までの返送費用は含まれておりません。 【お問合せ】 試薬機器部 Phone 052-624-4388 https://filgen.jp/ Copyright (C) 2004-2024　Filgen, Inc.　All Rights Reserved.