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電子顕微鏡試料用 導電性薄膜作製装置
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タッチパネル式/スイッチ式・標準タイプ/スイッチ式・オプション装着タイプ(導電性超薄膜機構/親水化処理機構/深型試料機構

「直流グロー放電による負グロー相領域内でのプラズマ製膜法」を用いた、主にSEM試料用の導電性薄膜作製装置です。
※OPC60A(スイッチ式)は、2023年11月を持ちまして、生産・販売を終了いたしました。本OPC-EVO(タッチパネル式)が後継機種です。


タッチパネル式


概要

累計販売台数300台以上の実績があるオスミウム・プラズマコーターのラインアップに、新たにタッチパネル式を追加します。(発売開始予定 2023年7月)
安全性、膜厚の再現性というオスミウム・プラズマコーターの最大の特長を継承しつつ、タッチパネルによるユーザーフレンドリーかつ直感的な操作性を実現したことで、初めて操作される方でも、安全かつ簡単にご使用頂くことが可能です。
本タッチパネルの操作は、わかりやすいと評判の当社タッチパネル式真空染色装置に採用されている会話式です。

チラシダウンロード(PDF)


特長

◆タッチパネルにより直感的な操作性を実現
サンプルの設置方法やオスミウム昇華室の取り付け/取り外し方法、終了作業の手順などの操作方法が説明されます。

◆標準で超薄膜製膜機構(0.5nm~の再現性の良い製膜を実現、特許取得技術)を搭載
→超薄膜作製機構の説明は、こちら
→テクニカルデータは、こちら

◆膜厚を設定してスタートするだけの自動操作
※自動操作は通常モード(3nm以上)の場合に使用可能です。
超薄膜製膜機構を使用する際は、一部マニュアル調整が必要となります。

◆使用言語の設定
日本語又は英語を選択可能です。
海外出身者の方にも、安心してご使用頂けます。

◆積層モード搭載:製膜の反復設定が可能
※繰り返し回数を指定するだけで数百nmの製膜が自動で可能です。

◆パスワード設定による使用者の制限
使用者を制限することで、セキュリティを強化します。

◆操作履歴の確認(日時、膜厚条件など)
過去の製膜条件を確認可能です。

◆メンテナンス情報の案内
オイル、フィルターの定期的な交換時期をお知らせします。

◆標準で親水化処理機構(より密着性の高いオスミウム薄膜を製膜可能)を搭載
→テクニカルデータは、こちら


スイッチ式との比較

- タッチパネル式(EVO) スイッチ式(OPC60A)
操作の説明 タッチパネル上で確認(日英対応) 紙のマニュアルを確認
膜厚の再現性 放電時間と放電電流の自動制御により実現
積層モード 自動で繰り返し製膜が可能 手動
超薄膜製膜機構 標準搭載 オプション(装置本体とは別に費用が追加)
親水化処理機構 標準搭載 オプション(装置本体とは別に費用が追加)
メンテナンス ロータリーポンプのオイル、フィルターの
交換時期をタッチパネル画面でお知らせ
ユーザー自身での管理が必要
セキュリティー パスワードで使用者を制限 なし
安全性 独自のオスミウムトラップフィルターにより環境基準をクリア(ロータリーポンプに標準装備)


仕様


本体
タイプ
型式
オスミウム膜専用タイプ(タッチパネル式)
OPC-EVO
外観
概要 最大で 36(φ) x 14(H) mm の試料に対応
ガス反応容器 ガラス容器
120(φ) x 73(H) mm
最大試料寸法 33(W) x 33(D) x 4(H) mm
または、36(φ) x 14(H) mm
生成膜厚 0.5nm~数100nm
最小膜厚設定 超薄膜モード:0.1nm~、通常モード:1nm~
生成膜 オスミウム超薄膜/オスミウム薄膜
四酸化オスミウム昇華室 昇華室内の四酸化オスミウム残量を確認可能な窓付き構造
密封状態での取り付け/取り外しが可能
(取り外し後は、昇華室のまま冷凍保存が可能)
ガス導入方式 四酸化オスミウム結晶を専用昇華室で昇華させて導入
SEM試料台設置数 10mmφx 7個 又は、15mmφ x 4個 又は、36mmφ x 1個
電源 単相 AC100V 50/60Hz 10A
(ロータリーポンプの供給電源を含む)
外形寸法 400(W) x 350(D) x 330(H) mm 凸部除く
質量 約20kg

ロータリーポンプ(OsO4フィルター付)
タイプ
型式
オスミウム膜専用タイプのロータリポンプ
OPC-EVO-RP
電源 AC100V 50Hz(60Hz) 200W
全負荷電流 単相 5.6A(4.8A)
排気速度 50L(60L)/min.
外形寸法 170(W) x 400(L) x 580(H) mm
質量 約18kg


価格


製品名 税別価格 型式
オスミウム・プラズマコーター EVO
※オスミウム膜専用タイプ/タッチパネル式
※本体+ロータリポンプセット
¥3,200,000 OPC-EVO

お問い合わせ 試薬機器部: biosupport@filgen.jp P.052-624-4388 https://filgen.jp/
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