タイプ
型式 |
オスミウム膜/プラズマ重合膜 両用タイプ
OPC80T |
オスミウム膜専用タイプ
OPC60A |
| 概観 |
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| 概要 |
オスミウム膜・プラズマ重合膜の両方が自動製膜できる上位機種。
10、15mm（φ）の複数試料を同時にコーティング可能です。 |
最大で36(φ)×14(H)mmの試料に対応。
10、15、32mm(φ）SEM試料台用電極から、お選びいただけます。 |
| ガス反応容器 |
ガラス容器
160(φ)×105(H)mm |
ガラス容器
120(φ)×73(H)mm |
| 最大試料寸法 |
44(W)×44(D)×4(H)mm
または、32(φ)×14(H)mm |
33(W)×33(D)×4(H)mm
または、36(φ)×14(H)mm |
| 生成膜厚 |
数nm～数100nm |
| 最小膜圧設定 |
超薄膜モード：0.1nm～、通常モード：1nm～ |
| 生成膜 |
オスミウム薄膜、
プラズマ重合膜（ナフタレン） |
オスミウム薄膜 |
四酸化オスミウム
昇華室 |
残量確認窓付密封脱着構造
（脱着後冷凍保存可） |
| ナフタレン昇華室 |
ヒーター付、
残量確認窓付脱着構造 |
- |
| ガス導入方式 |
四酸化オスミウム結晶
或いは
ナフタレン結晶を専用昇華室で昇華させて導入 |
四酸化オスミウム結晶を専用昇華室で昇華させて導入 |
SEM試料台用
陰極電極 |
マルチタイプ電極
（10mmφ×2個）及び、（15mmφ×2個）及び、
（32mmφ×1個）
を同時に製膜 （※） |
大型試料用電極
（10mmφ×7個）又は、（15mmφ×4個）又は、
（36mmφ×1個） |
| 電源 |
単相AC100V 50/60Hz 12A
（ロータリーポンプの
供給電源を含む） |
単相AC100V 50/60Hz 10A
（ロータリーポンプの
供給電源を含む） |
| 外形寸法 |
450(w)×410(D)×390(H)mm |
450(w)×390(D)×330(H)mm |
| 質量 |
約30kg |
約20kg |
仕様
