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オスミウム・プラズマコーター
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電子顕微鏡試料用 導電性薄膜作製装置
オスミウム・プラズマコーター
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標準タイプ/オプション装着タイプ(導電性超薄膜機構/親水化処理機構/深型試料機構

「直流グロー放電による負グロー相領域内でのプラズマ製膜法」を用いた、主にSEM試料用の導電性薄膜作製装置です。

標準タイプ


仕様

標準タイプ(本体)
タイプ
型式
オスミウム膜/プラズマ重合膜 両用タイプ
OPC80T
オスミウム膜専用タイプ
OPC60A
概観 OPC80T OPC60A
概要 オスミウム膜・プラズマ重合膜の両方が自動製膜できる上位機種。
10、15mm(φ)の複数試料を同時にコーティング可能です。
最大で36(φ)×14(H)mmの試料に対応。
10、15、32mm(φ)SEM試料台用電極から、お選びいただけます。
ガス反応容器 ガラス容器
160(φ)×105(H)mm
ガラス容器
120(φ)×73(H)mm
最大試料寸法 44(W)×44(D)×4(H)mm
または、32(φ)×14(H)mm
33(W)×33(D)×4(H)mm
または、36(φ)×14(H)mm
生成膜厚 数nm~数100nm
最小膜圧設定 超薄膜モード:0.1nm~、通常モード:1nm~
生成膜 オスミウム薄膜、
プラズマ重合膜(ナフタレン)
オスミウム薄膜
四酸化オスミウム
昇華室
残量確認窓付密封脱着構造
(脱着後冷凍保存可)
ナフタレン昇華室 ヒーター付、
残量確認窓付脱着構造
-
ガス導入方式 四酸化オスミウム結晶
或いは
ナフタレン結晶を専用昇華室で昇華させて導入
四酸化オスミウム結晶を専用昇華室で昇華させて導入
SEM試料台用
陰極電極
マルチタイプ電極
(10mmφ×2個)及び、(15mmφ×2個)及び、
(32mmφ×1個)
を同時に製膜 (※)
大型試料用電極
(10mmφ×7個)又は、(15mmφ×4個)又は、
(36mmφ×1個)
電源 単相AC100V 50/60Hz 12A
(ロータリーポンプの
供給電源を含む)
単相AC100V 50/60Hz 10A
(ロータリーポンプの
供給電源を含む)
外形寸法 450(w)×410(D)×390(H)mm 450(w)×390(D)×330(H)mm
質量 約30kg 約20kg
※マルチタイプの電極の他に、10mmφ×8個、15mmφ×6個、32mmφ×1個のSEM試料台用陰極電極がございます。
  その他のサイズの電極も承っております。(OPC80Tには、フラットタイプの電極が付属されます。)
ロータリーポンプ(OsO4フィルター付)
タイプ
型式
オスミウム膜/プラズマ重合膜 両用タイプ用
OPC80T-RP
オスミウム膜専用タイプ用
OPC60A-RP
電源 AC100V 50Hz(60Hz) 550W AC100V 50Hz(60Hz) 200W
全負荷電流 単相 9.0A(8.4A) 単相 5.6A(4.8A)
排気速度 200L(240L) /min 50L(60L) /min
外形寸法 170(W)×520(L)×560(H)mm 170(W)×400(L)×580(H)mm
質量 約31kg 約18kg
税別価格 / 本体+ロータリーポンプ セット
タイプ
型式
オスミウム膜/プラズマ重合膜 両用タイプ
OPC80T
オスミウム膜専用タイプ
OPC60A
税別価格 ¥4,700,000 ¥2,800,000
※価格は日本国内販売価格です。

お問い合わせ 科学機器部1グループ: si-support@filgen.jp P.052-624-4388 https://filgen.jp/
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