製品・サービス情報
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※価格改定予告 9月1日より、価格改定させて頂きます。 ⇒価格改定予告のご案内(PDF)
2波長による紫外線とオゾンのダブル効果で有機汚染物質を除去
UVオゾンクリーナー |
※ダメージフリーの乾式洗浄法で、基板に付着している有機汚染物質を、光化学的酸化分解プロセスによって除去できます。 |
高密度・高出力グリッド型UVランプ搭載シリーズ
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高密度高出力グリッド型UVランプ |
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【ラインナップ】
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高密度・高出力グリッド型UVランプ搭載 標準タイプ
UV253H/UV253HR |
実績の高いUV253V8の基本構造を引き継ぎ、ランプに高密度・高出力グリッド型UVランプを採用し、高出力照射、高密度均一照射を可能にしました。
ランプ使用積算タイマー内蔵です。
溶融石英ランプ仕様(UV253H)と合成石英ランプ仕様(UV253HR)があります。
オゾンキラー(オゾン分解装置)が標準で付属しており、オゾン漏れの心配がありません。 ガスボンベを接続して使用する場合、外気の流入なく、自動ですべての工程「酸素ガス導入⇒UV照射⇒窒素導入(オゾン排気)」を行えます。 |
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高密度・高出力グリッド型UVランプ搭載 12インチウェハ対応タイプ
UV253H12/UV253H12R |
高密度・高出力グリッド型ランプを装備し、12インチウェハに対応した大型タイプです。
ランプ使用積算タイマー内蔵です。
溶融石英ランプ仕様(UV253H12)と合成石英ランプ仕様(UV253H12R)があります。
オゾンキラー(オゾン分解装置)が標準で付属しており、オゾン漏れの心配がありません。 ガスボンベを接続して使用する場合、外気の流入なく、自動ですべての工程「酸素ガス導入⇒UV照射⇒窒素導入(オゾン排気)」を行えます。 |
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高密度・高出力グリッド型UVランプ搭載 16インチウェハ対応タイプ
UV253H16/UV253H16R |
高密度・高出力グリッド型ランプを装備し、16インチウェハに対応した大型タイプです。
ランプ使用積算タイマー内蔵です。
溶融石英ランプ仕様(UV253H16)と合成石英ランプ仕様(UV253H16R)があります。
オゾンキラー(オゾン分解装置)が標準で付属しており、オゾン漏れの心配がありまえん。 ガスボンベを接続して使用する場合、外気の流入なく、自動ですべての工程「酸素ガス導入⇒UV照射⇒窒素導入(オゾン排気)」を行えます。
※デモンストレーション可能な装置です。 |
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【仕様】
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◆UVオゾンクリーナー(高密度・高出力グリッド型UVランプ) コンパクト 標準タイプ
製品タイプ |
高密度・高出力グリッド型
UVランプ(溶融石英)
標準タイプ |
高密度・高出力グリッド型
UVランプ(合成石英)
標準タイプ |
型式 |
UV253H |
UV253HR |
光源 |
種類 |
低圧水銀ランプ(溶融石英) |
低圧水銀ランプ(合成石英) |
形状 |
高密度高出力グリッド型ランプ |
ランプ本数 |
- |
波長 |
184.9nm, 253.7nm |
洗浄室内寸法 |
208(W)×205(D)×168(H)mm |
外形寸法 |
400(W)×370(D)×270(H)mm |
周波数 |
- |
電源 |
100V 5A |
紫外線強度 |
28mW/cm2 |
オプション |
レギュレーター、流量計 |
酸素タイマー |
デジタル式 |
UVタイマー |
デジタル式(酸素タイマーと共有) |
窒素タイマー(オゾン排気) |
デジタル式 |
オゾンキラー連動電源コンセント |
有 |
インターロック
機構
(扉スイッチ) |
UVランプ消灯 |
有 |
電磁弁遮断 |
有 |
UVランプ積算タイマー |
デジタル式 |
オゾンキラー(オゾン分解装置)
⇒詳細 |
標準装備
「電源:100V 1A, エアポンプ排気流量:6L/min, 外形寸法:400(W)×370(D)×120(H)mm」 |
税別価格 |
¥2,490,000 |
¥2,820,000 |
※価格は日本国内販売価格です。
◆UVオゾンクリーナー(高密度・高出力グリッド型UVランプ) 12インチウェハ対応タイプ/16インチウェハ対応タイプ
製品名 |
12インチウェハ対応タイプ(高密度高出力グリッドランプ/溶融石英) |
12インチウェハ対応タイプ(高密度高出力グリッドランプ/合成石英) |
16インチウェハ対応タイプ(高密度高出力グリッドランプ/溶融石英) |
16インチウェハ対応タイプ(高密度高出力グリッドランプ/合成石英) |
型式 |
UV253H12 |
UV253H12R |
UV253H16 |
UV253H16R |
光源 |
種類 |
低圧水銀ランプ
(溶融石英) |
低圧水銀ランプ
(合成石英) |
低圧水銀ランプ
(溶融石英) |
低圧水銀ランプ
(合成石英) |
形状 |
高密度高出力型グリッドランプ |
ランプ本数 |
- |
波長 |
184.9nm, 253.7nm |
洗浄室内寸法 |
335(W)×330(D)×168(H)mm |
438(W)×430(D)×160(H)mm |
外形寸法 |
530(W)×510(D)×480(H)mm |
630(W)×600(D)×480(H)mm |
周波数 |
- |
電源 |
100V 15A |
100V 23A |
紫外線強度 |
28mW/cm2 |
オプション |
レギュレーター、流量計、装置搭載ワゴン |
レギュレーター、流量計 |
酸素タイマー |
デジタル式 |
UVタイマー |
デジタル式(酸素タイマーと共有) |
窒素タイマー(オゾン排気) |
デジタル式 |
オゾンキラー連動電源コンセント |
有 |
インターロック
機構
(扉スイッチ) |
UVランプ消灯 |
有 |
電磁弁遮断 |
有 |
UVランプ積算タイマー |
デジタル式 |
オゾンキラー(オゾン分解装置)
⇒詳細 |
標準装備
「電源:100V 1.5A, エアポンプ排気流量:18L/min, 外形寸法:530(W)×510(D)×120(H)mm」 |
標準装備
「電源:100V 1.5A, エアポンプ排気流量:18L/min, 外形寸法:530(W)×510(D)×120(H)mm」
×2台 |
税別価格 |
お問合せ |
お問合せ |
お問合せ |
お問合せ |
※価格は日本国内販売価格です。 |
◆オプション 酸素ボンベ用流量計付レギュレーター
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UV253H/HR用
流量計付きレギュレター |
UV253H12/H12R用
流量計付きレギュレター |
UV253H16/H16R用
流量計付きレギュレター |
型式 |
UV253-ORG |
UV253H16-ORG |
入力側 |
W22-14山(右) |
W22-14山(右) |
出力側 |
継手コネクト(外形6mmチューブ用) |
継手コネクト(外形6mmチューブ用) |
流量計スケール |
0~10L/min |
5~50L/min |
税別価格 |
¥76,000 |
¥128,000- |
◆オプション 窒素ボンベ用流量計付レギュレーター
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UV253H/HR用
流量計付きレギュレター |
UV253H12/H12R用
流量計付きレギュレター |
UV253H16/H16R用
流量計付きレギュレター |
型式 |
UV253-NRG |
UV253H16-NRG |
入力側 |
W22-14山(右) |
W22-14山(右) |
出力側 |
継手コネクト(外形6mmチューブ用) |
継手コネクト(外形6mmチューブ用) |
流量計スケール |
0~10L/min |
5~50L/min |
税別価格 |
¥76,000 |
¥128,000- |
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⇒流量計付レギュレーターの詳細
※価格は日本国内販売価格です。
◆その他オプション
⇒オプションを参照 |
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