製品・サービス情報
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2波長による紫外線とオゾンのダブル効果で有機汚染物質を除去
UVオゾンクリーナー |
※ダメージフリーの乾式洗浄法で、基板に付着している有機汚染物質を、光化学的酸化分解プロセスによって除去できます。 |
 高密度・高出力グリッド型UVランプ搭載シリーズ
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高密度高出力グリッド型UVランプ |
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【ラインナップ】
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高密度・高出力グリッド型UVランプ搭載 標準タイプ
UV253H/UV253HR |
実績の高いUV253V8の基本構造を引き継ぎ、ランプに高密度・高出力グリッド型UVランプを採用し、高出力照射、高密度均一照射を可能にしました。
ランプ使用積算タイマー内蔵です。
溶融石英ランプ仕様(UV253H)と合成石英ランプ仕様(UV253HR)があります。
オゾンキラー（オゾン分解装置）が標準で付属しており、オゾン漏れの心配がありません。
ガスボンベを接続して使用する場合、外気の流入なく、自動ですべての工程「酸素ガス導入⇒UV照射⇒窒素導入（オゾン排気）」を行えます。 |
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高密度・高出力グリッド型UVランプ搭載 12インチウェハ対応タイプ
UV253H12/UV253H12R |
高密度・高出力グリッド型ランプを装備し、12インチウェハに対応した大型タイプです。
ランプ使用積算タイマー内蔵です。
溶融石英ランプ仕様(UV253H12)と合成石英ランプ仕様(UV253H12R)があります。
オゾンキラー（オゾン分解装置）が標準で付属しており、オゾン漏れの心配がありません。
ガスボンベを接続して使用する場合、外気の流入なく、自動ですべての工程「酸素ガス導入⇒UV照射⇒窒素導入（オゾン排気）」を行えます。 |
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高密度・高出力グリッド型UVランプ搭載 16インチウェハ対応タイプ
UV253H16/UV253H16R |
高密度・高出力グリッド型ランプを装備し、16インチウェハに対応した大型タイプです。
ランプ使用積算タイマー内蔵です。
溶融石英ランプ仕様(UV253H16)と合成石英ランプ仕様(UV253H16R)があります。
オゾンキラー（オゾン分解装置）が標準で付属しており、オゾン漏れの心配がありまえん。
ガスボンベを接続して使用する場合、外気の流入なく、自動ですべての工程「酸素ガス導入⇒UV照射⇒窒素導入（オゾン排気）」を行えます。
※デモンストレーション可能な装置です。 |
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【仕様】
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◆UVオゾンクリーナー（高密度・高出力グリッド型UVランプ） コンパクト 標準タイプ
| 製品タイプ |
高密度・高出力グリッド型
UVランプ（溶融石英）
標準タイプ |
高密度・高出力グリッド型
UVランプ（合成石英）
標準タイプ |
| 型式 |
UV253H |
UV253HR |
| 光源 |
種類 |
低圧水銀ランプ（溶融石英） |
低圧水銀ランプ（合成石英） |
| 形状 |
高密度高出力グリッド型ランプ |
| ランプ本数 |
- |
| 波長 |
184.9nm, 253.7nm |
| 洗浄室内寸法 |
208(W)×205(D)×168(H)mm |
| 外形寸法 |
400(W)×370(D)×270(H)mm |
| 周波数 |
- |
| 電源 |
100V 5A |
| 紫外線強度 |
28mW/cm2 |
| オプション |
レギュレーター、流量計 |
| 酸素タイマー |
デジタル式 |
| UVタイマー |
デジタル式（酸素タイマーと共有） |
| 窒素タイマー（オゾン排気） |
デジタル式 |
| オゾンキラー連動電源コンセント |
有 |
インターロック
機構
（扉スイッチ） |
UVランプ消灯 |
有 |
| 電磁弁遮断 |
有 |
| UVランプ積算タイマー |
デジタル式 |
オゾンキラー（オゾン分解装置）
⇒詳細 |
標準装備
「電源：100V 1A, エアポンプ排気流量：6L/min, 外形寸法：400(W)×370(D)×120(H)mm」 |
| 税別価格 |
￥2,300,000 |
￥2,610,000 |
※価格は日本国内販売価格です。
◆UVオゾンクリーナー（高密度・高出力グリッド型UVランプ） 12インチウェハ対応タイプ/16インチウェハ対応タイプ
| 製品名 |
12インチウェハ対応タイプ（高密度高出力グリッドランプ/溶融石英） |
12インチウェハ対応タイプ（高密度高出力グリッドランプ/合成石英） |
16インチウェハ対応タイプ（高密度高出力グリッドランプ/溶融石英） |
16インチウェハ対応タイプ（高密度高出力グリッドランプ/合成石英） |
| 型式 |
UV253H12 |
UV253H12R |
UV253H16 |
UV253H16R |
| 光源 |
種類 |
低圧水銀ランプ
（溶融石英） |
低圧水銀ランプ
（合成石英） |
低圧水銀ランプ
（溶融石英） |
低圧水銀ランプ
（合成石英） |
| 形状 |
高密度高出力型グリッドランプ |
| ランプ本数 |
- |
| 波長 |
184.9nm, 253.7nm |
| 洗浄室内寸法 |
335(W)×330(D)×168(H)mm |
438(W)×430(D)×160(H)mm |
| 外形寸法 |
530(W)×510(D)×480(H)mm |
630(W)×600(D)×480(H)mm |
| 周波数 |
- |
| 電源 |
100V 15A |
100V 23A |
| 紫外線強度 |
28mW/cm2 |
| オプション |
レギュレーター、流量計、装置搭載ワゴン |
レギュレーター、流量計 |
| 酸素タイマー |
デジタル式 |
| UVタイマー |
デジタル式（酸素タイマーと共有） |
| 窒素タイマー（オゾン排気） |
デジタル式 |
| オゾンキラー連動電源コンセント |
有 |
インターロック
機構
（扉スイッチ） |
UVランプ消灯 |
有 |
| 電磁弁遮断 |
有 |
| UVランプ積算タイマー |
デジタル式 |
オゾンキラー（オゾン分解装置）
⇒詳細 |
標準装備
「電源：100V 1.5A, エアポンプ排気流量：18L/min, 外形寸法：530(W)×510(D)×120(H)mm」 |
標準装備
「電源：100V 1.5A, エアポンプ排気流量：18L/min, 外形寸法：530(W)×510(D)×120(H)mm」
×2台 |
| 税別価格 |
￥5,360,000- |
￥5,640,000- |
￥9,530,000- |
￥9,890,000- |
※価格は日本国内販売価格です。 |
◆オプション 酸素ボンベ用流量計付レギュレーター
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UV253H/HR用
流量計付きレギュレター |
UV253H12/H12R用
流量計付きレギュレター |
UV253H16/H16R用
流量計付きレギュレター |
| 型式 |
UV253-ORG |
UV253H16-ORG |
| 入力側 |
W22-14山（右） |
W22-14山（右） |
| 出力側 |
継手コネクト（外形6mmチューブ用） |
継手コネクト（外形6mmチューブ用） |
| 流量計スケール |
0～10L/min |
5～50L/min |
| 税別価格 |
￥76,000 |
￥128,000- |
◆オプション 窒素ボンベ用流量計付レギュレーター
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UV253H/HR用
流量計付きレギュレター |
UV253H12/H12R用
流量計付きレギュレター |
UV253H16/H16R用
流量計付きレギュレター |
| 型式 |
UV253-NRG |
UV253H16-NRG |
| 入力側 |
W22-14山（右） |
W22-14山（右） |
| 出力側 |
継手コネクト（外形6mmチューブ用） |
継手コネクト（外形6mmチューブ用） |
| 流量計スケール |
0～10L/min |
5～50L/min |
| 税別価格 |
￥76,000 |
￥128,000- |
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⇒流量計付レギュレーターの詳細
※価格は日本国内販売価格です。
◆その他オプション
⇒オプションを参照 |
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