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2波長による紫外線とオゾンのダブル効果で有機汚染物質を除去
UVオゾンクリーナー
製品情報 / 製品ラインナップ / テクニカルデータ

※ダメージフリーの乾式洗浄法で、基板に付着している有機汚染物質を、光化学的酸化分解プロセスによって除去できます。

製品ラインナップ
直管型ランプ搭載シリーズ / 高密度・高出力グリッド型ランプ搭載シリーズ / オプション / 特別仕様


高密度・高出力グリッド型UVランプ搭載シリーズ



高密度高出力グリッド型UVランプ


【ラインナップ】

高密度・高出力グリッド型UVランプ搭載 標準タイプ
UV253H/UV253HR

実績の高いUV253V8の基本構造を引き継ぎ、ランプに高密度・高出力グリッド型UVランプを採用し、高出力照射、高密度均一照射を可能にしました。
ランプ使用積算タイマー内蔵です。
溶融石英ランプ仕様(UV253H)と合成石英ランプ仕様(UV253HR)があります。
オゾンキラー(オゾン分解装置)が標準で付属しており、オゾン漏れの心配がありません。
ガスボンベを接続して使用する場合、外気の流入なく、自動ですべての工程「酸素ガス導入⇒UV照射⇒窒素導入(オゾン排気)」を行えます。
UV253H(R)
高密度・高出力グリッド型UVランプ搭載 12インチウェハ対応タイプ
UV253H12/UV253H12R

高密度・高出力グリッド型ランプを装備し、12インチウェハに対応した大型タイプです。
ランプ使用積算タイマー内蔵です。
溶融石英ランプ仕様(UV253H12)と合成石英ランプ仕様(UV253H12R)があります。
オゾンキラー(オゾン分解装置)が標準で付属しており、オゾン漏れの心配がありません。
ガスボンベを接続して使用する場合、外気の流入なく、自動ですべての工程「酸素ガス導入⇒UV照射⇒窒素導入(オゾン排気)」を行えます。
UV253H(R)12
高密度・高出力グリッド型UVランプ搭載 16インチウェハ対応タイプ
UV253H16/UV253H16R

高密度・高出力グリッド型ランプを装備し、16インチウェハに対応した大型タイプです。
ランプ使用積算タイマー内蔵です。
溶融石英ランプ仕様(UV253H16)と合成石英ランプ仕様(UV253H16R)があります。
オゾンキラー(オゾン分解装置)が標準で付属しており、オゾン漏れの心配がありまえん。
ガスボンベを接続して使用する場合、外気の流入なく、自動ですべての工程「酸素ガス導入⇒UV照射⇒窒素導入(オゾン排気)」を行えます。

※デモンストレーション可能な装置です。
※写真の装置搭載ワゴンはオプションです。
UV253H(R)16


【仕様】

◆UVオゾンクリーナー(高密度・高出力グリッド型UVランプ) コンパクト 標準タイプ
製品タイプ 高密度・高出力グリッド型
UVランプ(溶融石英)
標準タイプ
高密度・高出力グリッド型
UVランプ(合成石英)
標準タイプ
型式 UV253H UV253HR
光源 種類 低圧水銀ランプ(溶融石英) 低圧水銀ランプ(合成石英)
形状 高密度高出力グリッド型ランプ
ランプ本数 -
波長 184.9nm, 253.7nm  
洗浄室内寸法 208(W)×205(D)×168(H)mm
外形寸法 400(W)×370(D)×270(H)mm
周波数 -
電源 100V 5A
紫外線強度 28mW/cm2
オプション レギュレーター、流量計  
酸素タイマー デジタル式
UVタイマー デジタル式(酸素タイマーと共有)
窒素タイマー(オゾン排気) デジタル式
オゾンキラー連動電源コンセント
インターロック
機構
(扉スイッチ)
UVランプ消灯
電磁弁遮断
UVランプ積算タイマー デジタル式
オゾンキラー(オゾン分解装置)
詳細
標準装備
「電源:100V 1A, エアポンプ排気流量:6L/min, 外形寸法:400(W)×370(D)×120(H)mm」
税別価格 ¥2,300,000 ¥2,610,000
 ※価格は日本国内販売価格です。

◆UVオゾンクリーナー(高密度・高出力グリッド型UVランプ) 12インチウェハ対応タイプ/16インチウェハ対応タイプ
製品名 12インチウェハ対応タイプ(高密度高出力グリッドランプ/溶融石英) 12インチウェハ対応タイプ(高密度高出力グリッドランプ/合成石英) 16インチウェハ対応タイプ(高密度高出力グリッドランプ/溶融石英) 16インチウェハ対応タイプ(高密度高出力グリッドランプ/合成石英)
型式 UV253H12 UV253H12R UV253H16 UV253H16R
光源 種類 低圧水銀ランプ
(溶融石英)
低圧水銀ランプ
(合成石英)
低圧水銀ランプ
(溶融石英)
低圧水銀ランプ
(合成石英)
形状 高密度高出力型グリッドランプ
ランプ本数 -
波長 184.9nm, 253.7nm
洗浄室内寸法 335(W)×330(D)×168(H)mm 438(W)×430(D)×160(H)mm
外形寸法 530(W)×510(D)×480(H)mm 630(W)×600(D)×480(H)mm
周波数 -
電源 100V 15A 100V 23A
紫外線強度 28mW/cm2
オプション レギュレーター、流量計、装置搭載ワゴン
酸素タイマー デジタル式
UVタイマー デジタル式(酸素タイマーと共有)
窒素タイマー(オゾン排気) デジタル式
オゾンキラー連動電源コンセント
インターロック
機構
(扉スイッチ)
UVランプ消灯
電磁弁遮断
UVランプ積算タイマー デジタル式
オゾンキラー(オゾン分解装置)
詳細
標準装備
「電源:100V 1.5A, エアポンプ排気流量:18L/min, 外形寸法:530(W)×510(D)×120(H)mm」
標準装備
「電源:100V 1.5A, エアポンプ排気流量:18L/min, 外形寸法:530(W)×510(D)×120(H)mm」
×2台
税別価格 ¥4,560,000- ¥4,790,000- ¥8,100,000- ¥8,410,000-
 ※価格は日本国内販売価格です。

◆オプション 酸素ボンベ用流量計付レギュレーター

  UV253H/HR用
流量計付きレギュレター
 
UV253H12/H12R用
流量計付きレギュレター
UV253H16/H16R用
流量計付きレギュレター
型式 UV253-ORG UV253H16-ORG
入力側 W22-14山(右) W22-14山(右)
出力側 継手コネクト(外形6mmチューブ用) 継手コネクト(外形6mmチューブ用)
流量計スケール 0~10L/min 5~50L/min
税別価格 ¥76,000 ¥128,000-

◆オプション 窒素ボンベ用流量計付レギュレーター

  UV253H/HR用
流量計付きレギュレター
UV253H12/H12R用
流量計付きレギュレター
UV253H16/H16R用
流量計付きレギュレター
型式 UV253-NRG UV253H16-NRG
入力側 W22-14山(右) W22-14山(右)
出力側 継手コネクト(外形6mmチューブ用) 継手コネクト(外形6mmチューブ用)
流量計スケール 0~10L/min 5~50L/min
税別価格 ¥76,000 ¥128,000-
流量計付レギュレーターの詳細
※価格は日本国内販売価格です。

◆その他オプション
 ⇒オプションを参照

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