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UVオゾンクリーナー
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2波長による紫外線とオゾンのダブル効果で有機汚染物質を除去
UVオゾンクリーナー
製品情報 / 製品ラインナップ / テクニカルデータ

※ダメージフリーの乾式洗浄法で、基板に付着している有機汚染物質を、光化学的酸化分解プロセスによって除去できます。


製品ラインナップ
直管型ランプ搭載シリーズ / 高密度・高出力グリッド型ランプ搭載シリーズ / オプション / 特別仕様

UVオゾンクリーナー
直管型ランプ搭載シリーズ

直管型UVランプを搭載したシリーズです。

(ランプ特性)
・発光強度がピークに達するのが早い。
・発光強度安定度が高い。
・比較的熱が発生しにくい。
・ローコスト

 ⇒詳細情報(仕様・価格など)



UV253V16


UV253V16W
UVオゾンクリーナー
高密度・高出力グリッド型ランプ搭載シリーズ

高密度・高出力グリッド型UVランプを搭載したシリーズです。

(ランプ特性)
・発光強度が強い。
・面内発光強度分布が均一。
・熱が発生しやすく、洗浄機内が高温になる。

 ⇒詳細情報(仕様・価格など)
オプション

◆オゾンキラー
・・・ オゾンを除去して室内排気を可能にします。
◆オゾン検知システム
・・・ オゾンキラー使用後に洗浄室内のオゾン濃度を測定できます。
洗浄室内のオゾン濃度が安全であることを確認後、扉を開放することが可能です。
扉ロック機構と連動して作動します。
◆扉ロック機構
・・・ 専用のロック機構により、UVランプ点灯中(オゾン発生中)に扉を開放することができなくなります。
◆流量計付きレギュレーター
◆スタンド付き流量計
◆洗浄室内温度測定機
・・・ 洗浄室内の温度を表示します。

 ⇒詳細情報(仕様・価格など)
特別仕様

お客様のご要望によって、様々な特別仕様のUVオゾンクリーナーを製作致しましたが、その一部をご紹介します。

 ⇒詳細情報(仕様・価格など)

お問い合わせ 科学機器部1グループ: si-support@filgen.jp P.052-624-4388 https://filgen.jp/
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