製品・サービス情報
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2波長による紫外線とオゾンのダブル効果で有機汚染物質を除去
UVオゾンクリーナー |
※ダメージフリーの乾式洗浄法で、基板に付着している有機汚染物質を、光化学的酸化分解プロセスによって除去できます。 |
直管型UVランプを搭載したシリーズです。
（ランプ特性）
・発光強度がピークに達するのが早い。
・発光強度安定度が高い。
・比較的熱が発生しにくい。
・ローコスト
⇒詳細情報（仕様・価格など） |
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UVオゾンクリーナー
高密度・高出力グリッド型ランプ搭載シリーズ |
高密度・高出力グリッド型UVランプを搭載したシリーズです。
（ランプ特性）
・発光強度が強い。
・面内発光強度分布が均一。
・熱が発生しやすく、洗浄機内が高温になる。
⇒詳細情報（仕様・価格など） |
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◆オゾンキラー
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◆オゾン検知システム
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オゾンキラー使用後に洗浄室内のオゾン濃度を測定できます。
洗浄室内のオゾン濃度が安全であることを確認後、扉を開放することが可能です。
扉ロック機構と連動して作動します。 |
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◆扉ロック機構
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専用のロック機構により、UVランプ点灯中（オゾン発生中）に扉を開放することができなくなります。 |
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| ◆流量計付きレギュレーター |
| ◆スタンド付き流量計 |
◆洗浄室内温度測定機
⇒詳細情報（仕様・価格など） |
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お客様のご要望によって、様々な特別仕様のUVオゾンクリーナーを製作致しましたが、その一部をご紹介します。
⇒詳細情報（仕様・価格など） |
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