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2波長による紫外線とオゾンのダブル効果で有機汚染物質を除去
UVオゾンクリーナー
製品情報 / 製品ラインナップ / テクニカルデータ

※ダメージフリーの乾式洗浄法で、基板に付着している有機汚染物質を、光化学的酸化分解プロセスによって除去できます。

製品ラインナップ
直管型ランプ搭載シリーズ / 高密度・高出力グリッド型ランプ搭載シリーズ / オプション / 特別仕様



直管型UVランプ搭載シリーズ



直管型UVランプ


【ラインナップ】

直管型UVランプ搭載 コンパクト 標準タイプ
UV253V8/UV253V8R

酸素ガス、窒素ガスに接続し、それぞれ流量を予め設定すると、酸素ガス導入⇒UV洗浄⇒窒素ガス導入(オゾン排気)を自動的に行います。
装置室内は、0.02MPaの加圧状態に保持することができる密閉構造です。
タイマーがデジタル方式で、減数カウントできます。
溶融石英ランプ仕様(UV253V8)と合成石英ランプ仕様(UV253V8R)があります。

※オゾンキラー(オゾン除去装置)は、オプションです。
直管型UVランプ搭載 コンパクト ロープライスタイプ
UV253E

UV253V8のランプ・寸法などは同一で、電磁弁・酸素タイマー・窒素タイマー・インターロック機構などを取り除き、タイマーをアナログタイプに変更し、ロープライス化しました。
オゾンキラーの接続も可能です。
酸素ボンベ・窒素ボンベの接続は可能ですが、電磁弁がついていないので、マニュアルでのガス導入操作となります。
溶融石英ランプ仕様(UV253E)と合成石英ランプ仕様(UV253ER)があります。

※オゾンキラー(オゾン除去装置)は、オプションです。
直管型UVランプ搭載 12インチウェア対応タイプ
UV253V12/UV253V12R

12インチウェハに対応した大型タイプです。
タイマーがデジタル方式であり、減数カウントが可能です。
溶融石英ランプ仕様(UV253V12)と合成石英ランプ仕様(UV253V12R)があります。
オゾンキラー(オゾン分解装置)が標準で付属しており、オゾン漏れの心配がありまえん。
ガスボンベを接続して使用する場合、外気の流入なく、自動ですべての工程「酸素ガス導入⇒UV照射⇒窒素導入(オゾン排気)」を行えます。
UV253V12
直管型UVランプ搭載 16インチウェハ対応タイプ
UV253V16/UV253V16R

16インチウェハに対応した大型タイプです。
タイマーがデジタル方式であり、減数カウントが可能です。
溶融石英ランプ仕様(UV253V16)と合成石英ランプ仕様(UV253V16R)があります。
オゾンキラー(オゾン分解装置)が標準で付属しており、オゾン漏れの心配がありまえん。
ガスボンベを接続して使用する場合、外気の流入なく、自動ですべての工程「酸素ガス導入⇒UV照射⇒窒素導入(オゾン排気)」を行えます。
UV253V16


【仕様】

◆UVオゾンクリーナー(直管型UVランプ搭載) コンパクト 標準タイプ
製品タイプ 直管型ランプ(溶融石英)
コンパクト 標準タイプ
直管型ランプ(合成石英)
コンパクト 標準タイプ
型式 UV253V8 UV253V8R
光源 種類 低圧水銀ランプ(溶融石英)  低圧水銀ランプ(合成石英) 
形状 直管型タイプ  
ランプ本数 3
波長 184.9nm, 253.7nm   
洗浄室内寸法 204(W)×207(D)×142(H)mm 
外形寸法 400(W)×300(D)×260(H)mm 
周波数 50Hz/60Hz(手動切替式)
電源 100V 5A 
紫外線強度 5.2mW/cm2
(UVランプ1本あたり) 
オプション オゾンキラー、レギュレーター、流量計   
酸素タイマー デジタル式 
UVタイマー デジタル式 
窒素タイマー(オゾン排気) デジタル式 
オゾンキラー連動電源コンセント  
インターロック
機構
(扉スイッチ)
UVランプ消灯  
電磁弁遮断  
UVランプ積算タイマー  
オゾンキラー(オゾン分解装置) オプション

(仕様/価格)  ⇒詳細
型式 UV253-OZ
オゾン除去方式 触媒 
電源 100V 1A 
エアポンプ排気流量 6L/min 
外形寸法 400(W)×300(W)×120(H)mm
税別価格 ¥294,000
税別価格 ¥980,000 ¥1,050,000
 ※価格は日本国内販売価格です。

◆UVオゾンクリーナー(直管型UVランプ搭載) コンパクト ロープライスタイプ
製品タイプ 直管型ランプ(溶融石英)
コンパクト ロープライスタイプ
直管型ランプ(合成石英)
コンパクト ロープライスタイプ
型式 UV253E UV253ER
光源 種類 低圧水銀ランプ(溶融石英)  低圧水銀ランプ(合成石英) 
形状 直管型タイプ  
ランプ本数 3
波長 184.9nm, 253.7nm   
洗浄室内寸法 204(W)×207(D)×142(H)mm 
外形寸法 400(W)×300(D)×260(H)mm 
周波数 50Hz/60Hz(手動切替式)
電源 100V 5A 
紫外線強度 5.2mW/cm2
(UVランプ1本あたり) 
オプション オゾンキラー、レギュレーター、流量計   
酸素タイマー なし 
UVタイマー アナログ式 
窒素タイマー(オゾン排気) なし 
オゾンキラー連動電源コンセント なし 
インターロック
機構
(扉スイッチ)
UVランプ消灯 なし 
電磁弁遮断 なし 
UVランプ積算タイマー  
オゾンキラー(オゾン分解装置) オプション

(仕様/価格)  ⇒詳細
型式 UV253-OZ
オゾン除去方式 触媒
電源 100V 1A
エアポンプ排気流量 6L/min
外形寸法 400(W)×300(W)×120(H)mm
税別価格 ¥294,000
税別価格 ¥480,000 ¥580,000
 ※価格は日本国内販売価格です。

◆UVオゾンクリーナー(直管型UVランプ搭載) 12インチウェハ対応タイプ/16インチウェハ対応タイプ
製品名 12インチウェハ対応タイプ(直管型ランプ/溶融石英) 12インチウェハ対応タイプ(直管型ランプ/合成石英) 16インチウェハ対応タイプ(直管型ランプ/溶融石英) 16インチウェハ対応タイプ(直管型ランプ/合成石英)
型式 UV253V12 UV253V12R UV253V16 UV253V16R
光源 種類 低圧水銀ランプ
(溶融石英)
低圧水銀ランプ
(合成石英)
低圧水銀ランプ
(溶融石英)
低圧水銀ランプ
(合成石英)
形状 直管型ランプ
ランプ本数 5 5 7 7
波長 184.9nm, 253.7nm
洗浄室内寸法 335(W)×330(D)×128(H)mm  438(W)×430(D)×130(H)mm
外形寸法 530(W)×510(D)×270(H)mm  630(W)×600(D)×280(H)mm
周波数 50Hz/60Hz
電源 100V 5A
紫外線強度 5.2mW/cm2(UVランプ1本あたり)
オプション オゾンキラー、レギュレーター、流量計、装置搭載ワゴン
酸素タイマー デジタル式
UVタイマー デジタル式
窒素タイマー(オゾン排気) デジタル式
オゾンキラー連動電源コンセント
インターロック
機構
(扉スイッチ)
UVランプ消灯
電磁弁遮断
UVランプ積算タイマー
オゾンキラー(オゾン分解装置)
詳細
標準装備
(仕様) ※1台を装備しています。
オゾン除去方式:触媒方式
電源:100V 1.5A
エアポンプ排気流量:18L/min
外形寸法:530(W)×510(D)×120(H)mm
標準装備
(仕様) ※2台を装備しています。
オゾン除去方式:触媒方式
電源:100V 1.5A
エアポンプ排気流量:12L/min
外形寸法:312(W)×600(D)×120(H)mm」
税別価格 ¥2,670,000- ¥2,720,000- ¥3,250,000- ¥3,630,000-
 ※価格は日本国内販売価格です。

◆オプション 酸素ボンベ用 レギュレーター/UV253V8・UV253VR8
型式 UV253V8/V8R用
UV253E/UV253ER用
流量計付きレギュレター
UV253V12/V12R用
流量計付きレギュレター
UV253V16/V16R用
流量計付きレギュレター
型式 UV253-ORG UV253V16-ORG
入力側 W22-14山(右) W22-14山(右)
出力側 継手コネクト(外径6mmチューブ用) 継手コネクト(外径6mmチューブ用)
流量計スケール 0~10L/min 5~50L/min
税別価格 ¥59,000 ¥105,000-

◆オプション 窒素ボンベ用 レギュレーター/UV253V8・UV253VR8

型式 UV253V8/V8R用
UV253E/UV253ER用
流量計付きレギュレター
UV253V12/V12R用
流量計付きレギュレター
UV253V16/V16R用
流量計付きレギュレター
型式 UV253-NRG UV253V16-NRG
入力側 W22-14山(右) W22-14山(右)
出力側 継手コネクト(外径6mmチューブ用) 継手コネクト(外径6mmチューブ用)
流量計スケール 0~10L/min 5~50L/min
税別価格 ¥59,000 ¥105,000-
 ⇒流量計付レギュレーターの詳細
 ※価格は日本国内販売価格です。

◆その他のオプション
  ⇒オプションを参照



 (関連情報)

  ⇒乾式洗浄法(UVオゾン洗浄)の原理及び特長はこちらをクリック

  ⇒論文及び技術資料はこちらをクリック

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