製品・サービス情報
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2波長による紫外線とオゾンのダブル効果で有機汚染物質を除去
UVオゾンクリーナー |
※ダメージフリーの乾式洗浄法で、基板に付着している有機汚染物質を、光化学的酸化分解プロセスによって除去できます。 |
 直管型UVランプ搭載シリーズ
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直管型UVランプ |
【ラインナップ】 |
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直管型UVランプ搭載 コンパクト 標準タイプ
UV253V8/UV253V8R |
酸素ガス、窒素ガスに接続し、それぞれ流量を予め設定すると、酸素ガス導入⇒UV洗浄⇒窒素ガス導入（オゾン排気）を自動的に行います。
装置室内は、0.02MPaの加圧状態に保持することができる密閉構造です。
タイマーがデジタル方式で、減数カウントできます。
溶融石英ランプ仕様(UV253V8)と合成石英ランプ仕様(UV253V8R)があります。
※オゾンキラー（オゾン除去装置）は、オプションです。 |
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直管型UVランプ搭載 コンパクト ロープライスタイプ
UV253E |
UV253V8のランプ・寸法などは同一で、電磁弁・酸素タイマー・窒素タイマー・インターロック機構などを取り除き、タイマーをアナログタイプに変更し、ロープライス化しました。
オゾンキラーの接続も可能です。
酸素ボンベ・窒素ボンベの接続は可能ですが、電磁弁がついていないので、マニュアルでのガス導入操作となります。
溶融石英ランプ仕様(UV253E)と合成石英ランプ仕様(UV253ER)があります。
※オゾンキラー（オゾン除去装置）は、オプションです。 |
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直管型UVランプ搭載 ハンディ―タイプ
UV253MINI |
従来のUVオゾンクリーナーに比べ、持ち運びできるコンパクトな設計とスイッチ1つですぐに使える手軽さ、さらにリーズナブルな価格を実現。
洗浄用途はもちろん、UVオゾン法を利用した新たなアプリケーション開発にもご利用頂けます。
溶融石英ランプ仕様（UV253MINI）と合成石英ランプ仕様（UV253MINIR）があります。
専用のサンプルホルダーや特注仕様のご相談についてもお気軽にお問合せください。 |
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カタログダウンロード
（PDF) |
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【UV253MINIの使い方】
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直管型UVランプ搭載 12インチウェア対応タイプ
UV253V12/UV253V12R |
12インチウェハに対応した大型タイプです。
タイマーがデジタル方式であり、減数カウントが可能です。
溶融石英ランプ仕様(UV253V12)と合成石英ランプ仕様(UV253V12R)があります。
オゾンキラー（オゾン分解装置）が標準で付属しており、オゾン漏れの心配がありまえん。
ガスボンベを接続して使用する場合、外気の流入なく、自動ですべての工程「酸素ガス導入⇒UV照射⇒窒素導入（オゾン排気）」を行えます。 |
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直管型UVランプ搭載 16インチウェハ対応タイプ
UV253V16/UV253V16R |
16インチウェハに対応した大型タイプです。
タイマーがデジタル方式であり、減数カウントが可能です。
溶融石英ランプ仕様(UV253V16)と合成石英ランプ仕様(UV253V16R)があります。
オゾンキラー（オゾン分解装置）が標準で付属しており、オゾン漏れの心配がありまえん。
ガスボンベを接続して使用する場合、外気の流入なく、自動ですべての工程「酸素ガス導入⇒UV照射⇒窒素導入（オゾン排気）」を行えます。 |
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【仕様】
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◆UVオゾンクリーナー（直管型UVランプ搭載） コンパクト 標準タイプ
| 製品タイプ |
直管型ランプ（溶融石英）
コンパクト 標準タイプ |
直管型ランプ（合成石英）
コンパクト 標準タイプ |
| 型式 |
UV253V8 |
UV253V8R |
| 光源 |
種類 |
低圧水銀ランプ（溶融石英） |
低圧水銀ランプ（合成石英） |
| 形状 |
直管型タイプ |
| ランプ本数 |
3 |
| 波長 |
184.9nm, 253.7nm |
| 洗浄室内寸法 |
204(W)×207(D)×142(H)mm |
| 外形寸法 |
400(W)×300(D)×260(H)mm |
| 周波数 |
50Hz/60Hz（手動切替式） |
| 電源 |
100V 5A |
| 紫外線強度 |
5.2mW/cm2
（UVランプ1本あたり） |
| オプション |
オゾンキラー、レギュレーター、流量計 |
| 酸素タイマー |
デジタル式 |
| UVタイマー |
デジタル式 |
| 窒素タイマー（オゾン排気） |
デジタル式 |
| オゾンキラー連動電源コンセント |
有 |
インターロック
機構
（扉スイッチ） |
UVランプ消灯 |
有 |
| 電磁弁遮断 |
有 |
| UVランプ積算タイマー |
無 |
| オゾンキラー（オゾン分解装置） |
オプション
（仕様/価格） ⇒詳細
| 型式 |
UV253-OZ |
| オゾン除去方式 |
触媒 |
| 電源 |
100V 1A |
| エアポンプ排気流量 |
6L/min |
| 外形寸法 |
400(W)×300(W)×120(H)mm |
| 税別価格 |
￥310,000 |
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| 税別価格 |
￥1,070,000 |
￥1,160,000 |
※価格は日本国内販売価格です。
◆UVオゾンクリーナー（直管型UVランプ搭載） コンパクト ロープライスタイプ
| 製品タイプ |
直管型ランプ（溶融石英）
コンパクト ロープライスタイプ |
直管型ランプ（合成石英）
コンパクト ロープライスタイプ |
| 型式 |
UV253E |
UV253ER |
| 光源 |
種類 |
低圧水銀ランプ（溶融石英） |
低圧水銀ランプ（合成石英） |
| 形状 |
直管型タイプ |
| ランプ本数 |
3 |
| 波長 |
184.9nm, 253.7nm |
| 洗浄室内寸法 |
204(W)×207(D)×142(H)mm |
| 外形寸法 |
400(W)×300(D)×260(H)mm |
| 周波数 |
50Hz/60Hz（手動切替式） |
| 電源 |
100V 5A |
| 紫外線強度 |
3.7mW/cm2
（UVランプ1本あたり） |
| オプション |
オゾンキラー、レギュレーター、流量計 |
| 酸素タイマー |
なし |
| UVタイマー |
アナログ式 |
| 窒素タイマー（オゾン排気） |
なし |
| オゾンキラー連動電源コンセント |
なし |
インターロック
機構
（扉スイッチ） |
UVランプ消灯 |
なし |
| 電磁弁遮断 |
なし |
| UVランプ積算タイマー |
無 |
| オゾンキラー（オゾン分解装置） |
オプション
（仕様/価格） ⇒詳細
| 型式 |
UV253-OZ |
| オゾン除去方式 |
触媒 |
| 電源 |
100V 1A |
| エアポンプ排気流量 |
6L/min |
| 外形寸法 |
400(W)×300(W)×120(H)mm |
| 税別価格 |
￥310,000 |
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| 税別価格 |
￥530,000 |
￥610,000 |
※価格は日本国内販売価格です。
◆UVオゾンクリーナー（直管型UVランプ搭載） ハンディータイプ
| 製品タイプ |
直管型ランプ（溶融石英）
ハンディータイプ |
直管型ランプ（合成石英）
ハンディータイプ |
| 型式 |
UV253MINI |
UV253MINIR |
| 光源 |
種類 |
低圧水銀ランプ（溶融石英） |
低圧水銀ランプ（合成石英） |
| 形状 |
直管型タイプ |
| ランプ本数 |
1 |
| 波長 |
184.9nm, 253.7nm |
| 洗浄室内寸法 |
130(W)×77(D)×38(H)mm（ランプ部分を除く） |
ランプ表面から
洗浄室底面までの距離（高さ） |
20mm |
| 外形寸法 |
180(W)×80(D)×85(H)mm |
| 電源 |
AC 100-240V 0.5A 50/60Hz |
| 紫外線強度 |
5.2mW/cm2 |
| オゾン濃度 |
およそ50ppm（測定環境により変動します。） |
| 税別価格 |
￥108,000 |
￥140,000 |
※価格は日本国内販売価格です。
◆UVオゾンクリーナー（直管型UVランプ搭載） 12インチウェハ対応タイプ/16インチウェハ対応タイプ
| 製品名 |
12インチウェハ対応タイプ（直管型ランプ/溶融石英） |
12インチウェハ対応タイプ（直管型ランプ/合成石英） |
16インチウェハ対応タイプ（直管型ランプ/溶融石英） |
16インチウェハ対応タイプ（直管型ランプ/合成石英） |
| 型式 |
UV253V12 |
UV253V12R |
UV253V16 |
UV253V16R |
| 光源 |
種類 |
低圧水銀ランプ
（溶融石英） |
低圧水銀ランプ
（合成石英） |
低圧水銀ランプ
（溶融石英） |
低圧水銀ランプ
（合成石英） |
| 形状 |
直管型ランプ |
| ランプ本数 |
5 |
5 |
7 |
7 |
| 波長 |
184.9nm, 253.7nm |
| 洗浄室内寸法 |
335(W)×330(D)×128(H)mm |
438(W)×430(D)×130(H)mm |
| 外形寸法 |
530(W)×510(D)×270(H)mm |
630(W)×600(D)×280(H)mm |
| 周波数 |
50Hz/60Hz |
| 電源 |
100V 5A |
| 紫外線強度 |
5.2mW/cm2（UVランプ1本あたり） |
| オプション |
オゾンキラー、レギュレーター、流量計、装置搭載ワゴン |
| 酸素タイマー |
デジタル式 |
| UVタイマー |
デジタル式 |
| 窒素タイマー（オゾン排気） |
デジタル式 |
| オゾンキラー連動電源コンセント |
有 |
インターロック
機構
（扉スイッチ） |
UVランプ消灯 |
有 |
| 電磁弁遮断 |
有 |
| UVランプ積算タイマー |
無 |
オゾンキラー（オゾン分解装置）
⇒詳細 |
標準装備
（仕様） ※1台を装備しています。
オゾン除去方式：触媒方式
電源：100V 1.5A
エアポンプ排気流量：18L/min
外形寸法：530(W)×510(D)×120(H)mm |
標準装備
（仕様） ※2台を装備しています。
オゾン除去方式：触媒方式
電源：100V 1.5A
エアポンプ排気流量：12L/min
外形寸法：312(W)×600(D)×120(H)mm」 |
| 税別価格 |
￥3,480,000- |
￥3,540,000- |
￥4,230,000- |
￥4,730,000- |
※価格は日本国内販売価格です。
◆オプション 酸素ボンベ用 レギュレーター/UV253V8・UV253V8R
| 型式 |
UV253V8/V8R用
UV253E/UV253ER用
流量計付きレギュレター |
UV253V12/V12R用
流量計付きレギュレター |
UV253V16/V16R用
流量計付きレギュレター |
| 型式 |
UV253-ORG |
UV253V16-ORG |
| 入力側 |
W22-14山（右） |
W22-14山（右） |
| 出力側 |
継手コネクト（外径6mmチューブ用） |
継手コネクト（外径6mmチューブ用） |
| 流量計スケール |
0～10L/min |
5～50L/min |
| 税別価格 |
￥76,000 |
￥128,000- |
◆オプション 窒素ボンベ用 レギュレーター/UV253V8・UV253VR8
| 型式 |
UV253V8/V8R用
UV253E/UV253ER用
流量計付きレギュレター |
UV253V12/V12R用
流量計付きレギュレター |
UV253V16/V16R用
流量計付きレギュレター |
| 型式 |
UV253-NRG |
UV253V16-NRG |
| 入力側 |
W22-14山（右） |
W22-14山（右） |
| 出力側 |
継手コネクト（外径6mmチューブ用） |
継手コネクト（外径6mmチューブ用） |
| 流量計スケール |
0～10L/min |
5～50L/min |
| 税別価格 |
￥76,000 |
￥128,000- |
⇒流量計付レギュレーターの詳細
※価格は日本国内販売価格です。
◆その他のオプション
⇒オプションを参照 |
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（関連情報）
⇒乾式洗浄法（UVオゾン洗浄）の原理及び特長はこちらをクリック
⇒論文及び技術資料はこちらをクリック
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