製品・サービス情報
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2波長による紫外線とオゾンのダブル効果で有機汚染物質を除去
UVオゾンクリーナー |
※ダメージフリーの乾式洗浄法で、基板に付着している有機汚染物質を、光化学的酸化分解プロセスによって除去できます。 |
 オゾンキラー
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UVオゾンクリーナーとの設置例 |
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【概要】
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オゾン分解装置です。 |
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UVオゾンクリーナー（本体）と接続すると排気設備の無い施設での使用が可能です。 |
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ガス配管チューブとの接続がワンタッチです。 |
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UVオゾンクリーナーの連動コンセントに接続すると、オゾン排気終了後に自動的に電源が切れます。 |
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各UVオゾンクリーナーに専用設計しており、設置面積が同一のため、余分なスペースを必要としません。 |
【他社製のUVオゾン洗浄装置をご使用のユーザー様へ、オゾンキラー（オゾン分解装置）活用のご提案】
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他社製のUVオゾン洗浄装置をご使用のユーザー様にも、オゾンキラーをご使用いただくことが可能です。 |
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ご使用のUVオゾン洗浄装置にあわせた特別仕様も承ります。 |
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オゾン排気にお困りのことがありましたら、お気軽にご相談下さい。 |
（導入事例）
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他社製UV照射装置向け排気用途 |
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エキシマ照射装置向け排気用途 |
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【仕様】
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| 型式 |
UV253-OZ |
| オゾン除去方法 |
触媒 |
| 電源 |
100V 1A |
| エアポンプ排気流量 |
6L/min |
| 対応機種 |
UV253V8(R) |
| 外形寸法 |
400(W)×300(D)×110(H)mm |
| 税別価格 |
￥310,000 |
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 オゾン検知システム
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オゾンキラー使用後に洗浄室内のオゾン濃度を測定します。
洗浄室内のオゾン濃度が安全であることを確認後、扉を開放することが可能です。
扉ロック機構と連動して作動します。
UVオゾンクリーナー導入後の取付も可能です。
対象となるUVオゾンクリーナーの機種についてはお問い合わせ下さい。
| 型式 |
UV253-OZDITECT |
| 税別価格 |
お問合せ |
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 扉ロック機構
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専用のロック機構によりUVランプ点灯中（オゾン発生中）に扉を開放することができなくなります。
また、オゾン検知システムと連動することでより安全にご使用頂けます。
UVオゾンクリーナー導入後の取付も可能です。
対象となるUVオゾンクリーナーの機種についてはお問い合わせ下さい。
| 仕様 |
| A |
扉ロックピンDownスイッチ |
| B |
扉ロックピンUPスイッチ |
| C |
扉ロックピン |
| 型式 |
UV253-OZLOCK |
| 対応機種 |
UV253H, UV253HR |
| 税別価格 |
お問合せ |
| ※ |
他の機種に扉ロック機構の取り付けをご希望の場合は、ご相談ください。 |
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 流量計付きレギュレーター
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【概要】
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流量計付きなのでガス流量が調整できるようになりました。 |
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2次圧の目盛が細かい為（1目盛 0.005 Mpa 最大 0.3 Mpa）、調整がしやすい。 |
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ガス配管チューブとの接続がワンタッチです。 |
【仕様】
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| 製品名 |
酸素ボンベ用流量計付
レギュレーター |
窒素ボンベ用流量計付
レギュレーター |
酸素ボンベ用流量計付
レギュレーター |
窒素ボンベ用流量計付
レギュレーター |
| 型式 |
UV253-ORG |
UV253-NRG |
UV253H16-ORG |
UV253H16-NRG |
| 使用ガス |
酸素 |
窒素 |
酸素 |
窒素 |
| 対応機種 |
UV253E UV253V8
UV253H |
UV253D7 UV253V12 UV253H12
UV253HR12 UV253V16 UV253H16 |
| 入力側 |
W22-14山（右） |
| 出力側 |
継手コネクト（外形6mmチューブ用） |
| 流量計スケール |
0～10L/min |
5～50L/min |
| 税別価格 |
￥76,000 |
￥76,000 |
￥128,000 |
￥128,000 |
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スタンド付き流量計
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正面
型式：UV-F1VO
型式：UV-F1VN |
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背面
型式：UV-F1VO
型式：UV-F1VN |
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【概要】
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マグネット付きなので、UVオゾンクリーナーの上に設置することができます。 |
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ネジ穴付き（4箇所）なので、作業台にネジ止めすることもできます。 |
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ガス配管チューブとの接続がワンタッチです。 |
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流量調整バルブ付きにより、ガス流量が調整できます。 |
【仕様】
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| 製品名 |
酸素用
スタンド付き流量計 |
窒素用
スタンド付き流量計 |
酸素用
スタンド付き流量計 |
窒素用
スタンド付き流量計 |
| 型式 |
UV-F1VO |
UV-F1VN |
UV-F5VO |
UV-F5VN |
| 使用ガス |
酸素（O2） |
窒素（N2） |
酸素（O2） |
窒素（N2） |
| 対応機種 |
UV253E UV253 UV253V8
UV253V8R UV253H UV253HR |
UV253V12 UV253V12R UV253H12
UV253H12R UV253V16 UV253V16R
UV253H16 UV253H16R |
| 入力側 |
継手コネクト（外形6mmチューブ用） |
継手コネクト（外形6mmチューブ用） |
| 出力側 |
継手コネクト（外形6mmチューブ用） |
継手コネクト（外形6mmチューブ用） |
| 流量計スケール |
0～10L/min |
0～50L/min |
| 供給圧力 |
0.3MPa以下 |
0.3MPa以下 |
| 税別価格 |
￥81,000 |
￥81,000 |
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洗浄室内温度測定機
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洗浄室内の温度を表示します。
洗浄室内温度測定機
| 型式 |
UV253V16-TM |
| 外形寸法 |
190(W)×600(D)×120(H)mm |
| 税別価格 |
お問合せ |
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