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UVオゾンクリーナー
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2波長による紫外線とオゾンのダブル効果で有機汚染物質を除去
UVオゾンクリーナー
製品情報 / 製品ラインナップ / テクニカルデータ

※ダメージフリーの乾式洗浄法で、基板に付着している有機汚染物質を、光化学的酸化分解プロセスによって除去できます。

オプション
オゾンキラー / オゾン検知システム / 扉ロック機構 / 流量計付きレギュレーター / スタンド付き流量計 / 洗浄室内温度測定機


オゾンキラー


UVオゾンクリーナーとの設置例

【概要】
オゾン分解装置です。
UVオゾンクリーナー(本体)と接続すると排気設備の無い施設での使用が可能です。
ガス配管チューブとの接続がワンタッチです。
UVオゾンクリーナーの連動コンセントに接続すると、オゾン排気終了後に自動的に電源が切れます。
各UVオゾンクリーナーに専用設計しており、設置面積が同一のため、余分なスペースを必要としません。

【他社製のUVオゾン洗浄装置をご使用のユーザー様へ、オゾンキラー(オゾン分解装置)活用のご提案】
他社製のUVオゾン洗浄装置をご使用のユーザー様にも、オゾンキラーをご使用いただくことが可能です。
ご使用のUVオゾン洗浄装置にあわせた特別仕様も承ります。
オゾン排気にお困りのことがありましたら、お気軽にご相談下さい。

(導入事例)
他社製UV照射装置向け排気用途
エキシマ照射装置向け排気用途

【仕様】

型式 UV253-OZ
オゾン除去方法 触媒
電源 100V 1A
エアポンプ排気流量 6L/min
対応機種 UV253V8(R)
外形寸法 400(W)×300(D)×110(H)mm
税別価格 ¥294,000


オゾン検知システム


オゾンキラー使用後に洗浄室内のオゾン濃度を測定します。
洗浄室内のオゾン濃度が安全であることを確認後、扉を開放することが可能です。
扉ロック機構と連動して作動します。

UVオゾンクリーナー導入後の取付も可能です。
対象となるUVオゾンクリーナーの機種についてはお問い合わせ下さい。


型式 UV253-OZDITECT
税別価格 ¥1,250,000


扉ロック機構


専用のロック機構によりUVランプ点灯中(オゾン発生中)に扉を開放することができなくなります。
また、オゾン検知システムと連動することでより安全にご使用頂けます。

UVオゾンクリーナー導入後の取付も可能です。
対象となるUVオゾンクリーナーの機種についてはお問い合わせ下さい。


仕様  
A 扉ロックピンDownスイッチ
B 扉ロックピンUPスイッチ 
C 扉ロックピン 

型式 UV253-OZLOCK
税別価格 ¥490,000


流量計付きレギュレーター


【概要】
流量計付きなのでガス流量が調整できるようになりました。
2次圧の目盛が細かい為(1目盛 0.005 Mpa 最大 0.3 Mpa)、調整がしやすい。
ガス配管チューブとの接続がワンタッチです。

【仕様】
製品名 酸素ボンベ用流量計付
レギュレーター
窒素ボンベ用流量計付
レギュレーター
 
酸素ボンベ用流量計付
レギュレーター
窒素ボンベ用流量計付
レギュレーター
 
型式 UV253-ORG UV253-NRG UV253H16-ORG UV253H16-NRG
使用ガス 酸素 窒素 酸素 窒素
対応機種 UV253E UV253V8
UV253H
UV253D7 UV253V12 UV253H12
UV253HR12 UV253V16 UV253H16
入力側 W22-14山(右)
出力側 継手コネクト(外形6mmチューブ用)
流量計スケール 0~10L/min 5~50L/min
税別価格 ¥59,000 ¥59,000 ¥105,000 ¥105,000


スタンド付き流量計

正面
型式:UV253-OFMV
型式:UV253-NFMV
背面
型式:UV253-OFMV
型式:UV253-NFMV

【概要】
マグネット付きなので、UVオゾンクリーナーの上に設置することができます。
ネジ穴付き(4箇所)なので、作業台にネジ止めすることもできます。
ガス配管チューブとの接続がワンタッチです。
流量調整バルブ付きにより、ガス流量が調整できます。


【仕様】

型式 UV253-OFMV UV253-NFMV
使用ガス 酸素(O2 窒素(N2
対応機種 UV253E UV253 UV253V8 UV253V8R UV253H UV253HR
入力側 継手コネクト(外形6mmチューブ用)
出力側 継手コネクト(外形6mmチューブ用)
流量計スケール 0~10L/min
税別価格 ¥34,000


洗浄室内温度測定機


洗浄室内の温度を表示します。

洗浄室内温度測定機
型式 UV253V16-TM
外形寸法 190(W)×600(D)×120(H)mm
税別価格 ¥154,000
洗浄室内温度測定機

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