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「直流グロー放電による負グロー相領域内でのプラズマ製膜法」を用いた、主にSEM試料用の導電性薄膜作製装置です。
テクニカルデータ
プラズマ重合膜の応用例(シリコンのFIB)
■試料:シリコン(FIBへの応用)
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