製品・サービス情報
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電子顕微鏡試料用 導電性薄膜作製装置
オスミウム・プラズマコーター |
「直流グロー放電による負グロー相領域内でのプラズマ製膜法」を用いた、主にSEM試料用の導電性薄膜作製装置です。
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 ナフタレン-オスミウムハイブリッドコート
オスミウムコートの前にプラズマ重合膜（ナフタレン）コートをすることにより、試料への保護効果、
チャージアップ防止を実現した全く新しい製膜法です。（特許取得済）
特にフッ素樹脂へのコートに効果があります。
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■試料：フッ素樹脂（シート）
サイズ：32mm（φ）×1mm（H）
1.試料にオスミウムをコートしました。
| 膜厚：100nm |
膜厚：150nm |
膜厚：200nm |
| ※膜厚が厚くなるに伴い、マスク部分（点線の丸で囲んだ部分）以外はOsコートされていますが膜ムラがあります |
2.マスクを変更し、オスミウムコート、プラズマ重合膜（ナフタレン）コートをしました。
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オスミウムコート
膜厚：150nm |
プラズマ重合膜コート
膜厚：150nm |
※プラズマ重合膜（ナフタレン）では、マスク以外は満遍なくコーティングされています。
3.プラズマ重合膜コートしたのち、オスミウムコートしました。
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ナフタレン-オスミウムハイブリッドコート |
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《プラズマ重合膜コート
膜厚：150nm》
＋
《オスミウムコート
膜厚：50nm》 |
プラズマ重合膜コート
膜厚：100nm |
※予めプラズマ重合膜がコートされている試料に対しては、オスミウムが均一にコートされます
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■ＳＥＭ写真
フッ素樹脂
（シート）
サイズ：
5×4×0.3mm |
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オスミウムコート
膜厚：5nm |
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ナフタレン-オスミウム
ハイブリッドコート
《プラズマ重合膜コート
膜厚：2nm》
＋
《オスミウムコート
膜厚：3nm》 |
※ナフタレン-オスミウムハイブリッドコートでは、チャージアップなく、ダメージレスにて観察が可能です。 |
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