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電子顕微鏡試料用 導電性薄膜作製装置
オスミウム・プラズマコーター
オスミウム・プラズマコーターについて/フィルジェンが選ばれる理由/製品ラインナップ/アクセサリー/テクニカルデータ/受託サービス/メンテナンス

「直流グロー放電による負グロー相領域内でのプラズマ製膜法」を用いた、主にSEM試料用の導電性薄膜作製装置です。
オスミウム・プラズマコーターの外観

テクニカルデータ

Silicon Wafer Resist Sample

OPC OPC
Direct Magnification: 60,000X
Direct Magnification: 150,000X

Coating Device Osmium Plasma Coater
Coating Material Osmium
Coating Thickness 3 nm
Accelerating Voltage 5.0 kV


【お問合せ】
試薬機器部
Phone 052-624-4388

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