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「直流グロー放電による負グロー相領域内でのプラズマ製膜法」を用いた、主にSEM試料用の導電性薄膜作製装置です。
テクニカルデータ
プラズマ重合膜によるシリコンウェハのトレンチ観察
■試料:シリコンウェハのトレンチ
→
試料を溶解した
レプリカ膜
(プラズマ重合膜)
をTEM観察
↓ 拡大
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