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電子顕微鏡試料用 導電性薄膜作製装置
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「直流グロー放電による負グロー相領域内でのプラズマ製膜法」を用いた、主にSEM試料用の導電性薄膜作製装置です。
オスミウム・プラズマコーターの外観

テクニカルデータ


プラズマ重合膜によるシリコンウェハのトレンチ観察


■試料:シリコンウェハのトレンチ 








試料を溶解した
レプリカ膜
(プラズマ重合膜)
をTEM観察
                 ↓  拡大


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