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UVオゾンクリーナー
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- 直管型ランプ搭載シリーズ
- 高密度・高出力グリッド型ランプ搭載シリーズ
- オプション
- 特別仕様
コンパクト標準タイプ(直管型ランプ)の光量アップ仕様
ラージタイプ(直管型ランプ)のワイドサイズ
両面照射仕様
エキシマランプ仕様
ヒーター機構追加仕様
オゾンレスランプによるオゾン分解機構内蔵タイプ
+ テクニカルデータ
  
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2波長による紫外線とオゾンのダブル効果で有機汚染物質を除去
UVオゾンクリーナー
製品情報 / 製品ラインナップ / テクニカルデータ

※ダメージフリーの乾式洗浄法で、基板に付着している有機汚染物質を、光化学的酸化分解プロセスによって除去できます。


製品ラインナップ
直管型ランプ搭載シリーズ / 高密度・高出力グリッド型ランプ搭載シリーズ / オプション

【特別仕様】

コンパクト標準タイプ(直管型ランプ)の光量アップ仕様 /
ラージタイプ(直管型ランプ)のワイドサイズ / 両面照射仕様 / エキシマランプ仕様 / ヒーター機構追加仕様 / オゾンレスランプによるオゾン分解機構内蔵タイプ


ラージタイプ(直管型ランプ)のワイドサイズ/UV253V16W



お客様のご希望により、ラージタイプ(直管型ランプ)/UV253V16をさらにワイドに設計致しました。

タイマーがデジタル方式であり、減数カウントが可能です。

オゾンキラー(オゾン分解排気装置)

UV253V16W
【仕様】

本体
製品名 UVオゾンクリーナー
ラージタイプ(直管型ランプ)
のワイドサイズ
※参考比較
UVオゾンクリーナー
ラージタイプ(直管型ランプ)
型式 UV253V16W UV253V16
光源 種類 低圧水銀ランプ
形状 直管型
ランプ本数 12 7
波長 184.9nm, 253.7nm
洗浄室内寸法 650(W)×430(D)×160(H)mm 438(W)×430(D)×130(H)mm
外形寸法 850(W)×600(D)×280(H)mm 630(W)×600(D)×280(H)mm
電源 100V 10A 100V 5A
紫外線強度 5.2mW/cm2(UVランプ1本あたり)
オプション オゾンキラー、レギュレーター、流量計
装置搭載ワゴン、洗浄室内温度測定機、積層表示灯
酸素タイマー デジタル式
UVタイマー デジタル式
窒素タイマー
(オゾン排気)
デジタル式
オゾンキラー連動
電源コンセント
インターロック機構
(扉スイッチ)
UVランプ消灯
電磁弁遮断
UVランプ積算タイマー
オゾンキラー 標準付属
100V 1.5A×3台
12L/min.×3台
標準付属
100V 1.5A×2台
12L/min.×2台
税別価格 お問い合わせ ¥3,250,000-
※オゾンキラー、レギュレーター、流量計、装置搭載ワゴン、温度表示器及び積層表示灯の詳細についてはお問い合わせ下さい。
※紫外線強度の測定方法は、ランプにより異なります。詳しくはお問い合わせ下さい。
※価格は日本国内販売価格です。
オゾンキラー(オゾン分解排気装置)の詳細

ボンベ用レギュレーター
製品名  酸素ボンベ用流量計付レギュレーター 窒素ボンベ用流量計付レギュレーター 
型式 UV253H16-ORG UV253H16-NRG
入力側 W22-14山(右)
出力側 継手コネクト(外径6mmチューブ用)
流量計スケール 5~50L/min
設定流量 20L/min 30L/min
税別価格 ¥105,000- ¥105,000-
流量計付レギュレーターの詳細
※レギュレーターは、「ラージタイプ ワイドサイズ」と「ラージタイプ ワイドサイズ」で同じ製品を使用します。
※価格は日本国内販売価格です。


お問い合わせ 試薬機器部: biosupport@filgen.jp P.052-624-4388 https://filgen.jp/
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