製品・サービス情報
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2波長による紫外線とオゾンのダブル効果で有機汚染物質を除去
UVオゾンクリーナー |
※ダメージフリーの乾式洗浄法で、基板に付着している有機汚染物質を、光化学的酸化分解プロセスによって除去できます。 |
 ラージタイプ（直管型ランプ）のワイドサイズ/UV253V16W
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お客様のご希望により、ラージタイプ（直管型ランプ）/UV253V16をさらにワイドに設計致しました。
タイマーがデジタル方式であり、減数カウントが可能です。
⇒オゾンキラー（オゾン分解排気装置）
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【仕様】
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本体
| 製品名 |
UVオゾンクリーナー
ラージタイプ（直管型ランプ）
のワイドサイズ |
※参考比較
UVオゾンクリーナー
ラージタイプ（直管型ランプ） |
| 型式 |
UV253V16W |
UV253V16 |
| 光源 |
種類 |
低圧水銀ランプ |
| 形状 |
直管型 |
| ランプ本数 |
12 |
7 |
| 波長 |
184.9nm, 253.7nm |
| 洗浄室内寸法 |
650(W)×430(D)×160(H)mm |
438(W)×430(D)×130(H)mm |
| 外形寸法 |
850(W)×600(D)×280(H)mm |
630(W)×600(D)×280(H)mm |
| 電源 |
100V 10A |
100V 5A |
| 紫外線強度 |
5.2mW/cm2（UVランプ1本あたり） |
| オプション |
オゾンキラー、レギュレーター、流量計
装置搭載ワゴン、洗浄室内温度測定機、積層表示灯 |
| 酸素タイマー |
デジタル式 |
| UVタイマー |
デジタル式 |
窒素タイマー
（オゾン排気） |
デジタル式 |
オゾンキラー連動
電源コンセント |
有 |
インターロック機構
（扉スイッチ） |
UVランプ消灯 |
有 |
| 電磁弁遮断 |
有 |
| UVランプ積算タイマー |
無 |
| オゾンキラー |
標準付属
100V 1.5A×3台
12L/min.×3台
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標準付属
100V 1.5A×2台
12L/min.×2台
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| 税別価格 |
お問い合わせ |
￥3,250,000- |
※オゾンキラー、レギュレーター、流量計、装置搭載ワゴン、温度表示器及び積層表示灯の詳細についてはお問い合わせ下さい。
※紫外線強度の測定方法は、ランプにより異なります。詳しくはお問い合わせ下さい。
※価格は日本国内販売価格です。
⇒オゾンキラー（オゾン分解排気装置）の詳細
ボンベ用レギュレーター
| 製品名 |
酸素ボンベ用流量計付レギュレーター |
窒素ボンベ用流量計付レギュレーター |
| 型式 |
UV253H16-ORG |
UV253H16-NRG |
| 入力側 |
W22-14山（右） |
| 出力側 |
継手コネクト（外径6mmチューブ用） |
| 流量計スケール |
5～50L/min |
| 設定流量 |
20L/min |
30L/min |
| 税別価格 |
￥105,000- |
￥105,000- |
⇒流量計付レギュレーターの詳細
※レギュレーターは、「ラージタイプ ワイドサイズ」と「ラージタイプ ワイドサイズ」で同じ製品を使用します。
※価格は日本国内販売価格です。
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