製品・サービス情報
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2波長による紫外線とオゾンのダブル効果で有機汚染物質を除去
UVオゾンクリーナー |
※ダメージフリーの乾式洗浄法で、基板に付着している有機汚染物質を、光化学的酸化分解プロセスによって除去できます。 |
エキシマランプ仕様/UV172-EX
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簡便にエキシマランプによる光洗浄が可能となります。
タイマーがデジタル方式であり、減数カウントが可能です。
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本体
製品名 |
UVオゾンクリーナー エキシマランプ仕様 |
型式 |
UV172-EX |
光源 |
種類 |
エキシマランプ |
形状 |
直管タイプ |
ランプ本数 |
4 |
波長 |
172nm |
洗浄室内寸法 |
338(W)×410(D)×170(H)mm |
外形寸法 |
580(W)×530(D)×580(H)mm |
電源 |
100V |
オプション |
レギュレーター、流量計、装置搭載ワゴン |
窒素タイマー
(ランプハウス内パージ) |
デジタル式 |
VUVタイマー |
デジタル式 |
窒素タイマー
(オゾン排気) |
デジタル式 |
オゾンキラー連動
電源コンセント |
有 |
インターロック機構
(扉スイッチ) |
UVランプ消灯 |
有 |
電磁弁遮断 |
有 |
税別価格 |
お問い合わせ |
※レギュレーター、流量計、装置搭載ワゴンの詳細についてはお問い合わせ下さい。
※紫外線強度の測定方法は、ランプにより異なります。詳しくはお問い合わせ下さい。
※UV172-EX をご使用になられる場合は、オゾンキラーが必要となります。
※価格は日本国内販売価格です。
オゾンキラー
製品名 |
オゾンキラー |
型式 |
UV253H12-OZ |
オゾン除去方式 |
触媒 |
電源 |
100V 1.5A |
エアポンプ排気流量 |
18L/min |
外形寸法 |
530(W)×510(D)×120(H)mm |
税別価格 |
お問い合わせ |
⇒オゾンキラー(オゾン分解排気装置)の詳細
※価格は日本国内販売価格です。
ボンベ用レギュレーター
製品名 |
酸素ボンベ用流量計付
レギュレーター |
窒素ボンベ用流量計付
レギュレーター |
型式 |
UV253H16-ORG |
UV253H16-NRG |
使用ガス |
酸素 |
窒素 |
入力側 |
W22-14山(右) |
出力側 |
継手コネクト(外径6mmチューブ用) |
流量計スケール |
5~50L/min |
税別価格 |
¥105,000 |
¥105,000 |
⇒流量計付レギュレーターの詳細
※価格は日本国内販売価格です。 |
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