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UVオゾンクリーナー
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- 直管型ランプ搭載シリーズ
- 高密度・高出力グリッド型ランプ搭載シリーズ
- オプション
- 特別仕様
コンパクト標準タイプ(直管型ランプ)の光量アップ仕様
ラージタイプ(直管型ランプ)のワイドサイズ
両面照射仕様
エキシマランプ仕様
ヒーター機構追加仕様
オゾンレスランプによるオゾン分解機構内蔵タイプ
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2波長による紫外線とオゾンのダブル効果で有機汚染物質を除去
UVオゾンクリーナー
製品情報 / 製品ラインナップ / テクニカルデータ

※ダメージフリーの乾式洗浄法で、基板に付着している有機汚染物質を、光化学的酸化分解プロセスによって除去できます。

製品ラインナップ
直管型ランプ搭載シリーズ / 高密度・高出力グリッド型ランプ搭載シリーズ / オプション

【特別仕様】

コンパクト標準タイプ(直管型ランプ)の光量アップ仕様 / ラージタイプ(直管型ランプ)のワイドサイズ / 両面照射仕様 /
エキシマランプ仕様 / ヒーター機構追加仕様 / オゾンレスランプによるオゾン分解機構内蔵タイプ


エキシマランプ仕様/UV172-EX


簡便にエキシマランプによる光洗浄が可能となります。
タイマーがデジタル方式であり、減数カウントが可能です。



本体
製品名 UVオゾンクリーナー エキシマランプ仕様
型式 UV172-EX
光源 種類 エキシマランプ
形状 直管タイプ
ランプ本数 4
波長 172nm
洗浄室内寸法 338(W)×410(D)×170(H)mm
外形寸法 580(W)×530(D)×580(H)mm
電源 100V
オプション レギュレーター、流量計、装置搭載ワゴン
窒素タイマー
(ランプハウス内パージ)
デジタル式
VUVタイマー デジタル式
窒素タイマー
(オゾン排気)
デジタル式
オゾンキラー連動
電源コンセント
インターロック機構
(扉スイッチ)
UVランプ消灯
電磁弁遮断
税別価格 お問い合わせ
※レギュレーター、流量計、装置搭載ワゴンの詳細についてはお問い合わせ下さい。
※紫外線強度の測定方法は、ランプにより異なります。詳しくはお問い合わせ下さい。
※UV172-EX をご使用になられる場合は、オゾンキラーが必要となります。
※価格は日本国内販売価格です。

オゾンキラー

製品名 オゾンキラー
型式 UV253H12-OZ
オゾン除去方式 触媒
電源 100V 1.5A
エアポンプ排気流量 18L/min
外形寸法 530(W)×510(D)×120(H)mm
税別価格 お問い合わせ
オゾンキラー(オゾン分解排気装置)の詳細
※価格は日本国内販売価格です。

ボンベ用レギュレーター
製品名 酸素ボンベ用流量計付
レギュレーター
窒素ボンベ用流量計付
レギュレーター
 
型式 UV253H16-ORG UV253H16-NRG
使用ガス 酸素 窒素
入力側 W22-14山(右)
出力側 継手コネクト(外径6mmチューブ用)
流量計スケール 5~50L/min
税別価格 ¥105,000 ¥105,000
流量計付レギュレーターの詳細
※価格は日本国内販売価格です。

【お問合せ】
試薬機器部
Phone 052-624-4388

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