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UVオゾンクリーナー
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- 直管型ランプ搭載シリーズ
- 高密度・高出力グリッド型ランプ搭載シリーズ
- オプション
- 特別仕様
コンパクト標準タイプ(直管型ランプ)の光量アップ仕様
ラージタイプ(直管型ランプ)のワイドサイズ
両面照射仕様
エキシマランプ仕様
ヒーター機構追加仕様
オゾンレスランプによるオゾン分解機構内蔵タイプ
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2波長による紫外線とオゾンのダブル効果で有機汚染物質を除去
UVオゾンクリーナー
製品情報 / 製品ラインナップ / テクニカルデータ

※ダメージフリーの乾式洗浄法で、基板に付着している有機汚染物質を、光化学的酸化分解プロセスによって除去できます。


製品ラインナップ
直管型ランプ搭載シリーズ / 高密度・高出力グリッド型ランプ搭載シリーズ / オプション

【特別仕様】

コンパクト標準タイプ(直管型ランプ)の光量アップ仕様 / ラージタイプ(直管型ランプ)のワイドサイズ / 両面照射仕様 / エキシマランプ仕様 /
ヒーター機構追加仕様 / オゾンレスランプによるオゾン分解機構内蔵タイプ


ヒーター機構追加仕様


専用のヒーターにより、洗浄対象物を加熱し有機汚染物質を除去しやすくします。
ステージの高さが調整可能です。(10~100mm)
内蔵の温度センサーによりステージの温度測定が可能です。

UVオゾンクリーナー導入後の取付も可能です。
対象となるUVオゾンクリーナーの機種についてはお問い合わせ下さい。

ヒーター制御部 ヒーター部

ヒーター機構設置例

【仕様】
使用温度 最大 200℃
ステージサイズ 180 × 180 mm
高さ調整 10 ~ 100 mm
電源 AC 100V、10A

【税別価格】
お問い合わせください。

【お問合せ】
試薬機器部
Phone 052-624-4388

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