製品・サービス情報
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2波長による紫外線とオゾンのダブル効果で有機汚染物質を除去
UVオゾンクリーナー |
※ダメージフリーの乾式洗浄法で、基板に付着している有機汚染物質を、光化学的酸化分解プロセスによって除去できます。 |
ヒーター機構追加仕様
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専用のヒーターにより、洗浄対象物を加熱し有機汚染物質を除去しやすくします。
ステージの高さが調整可能です。(10~100mm)
内蔵の温度センサーによりステージの温度測定が可能です。
UVオゾンクリーナー導入後の取付も可能です。
対象となるUVオゾンクリーナーの機種についてはお問い合わせ下さい。 |
【仕様】
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使用温度 |
最大 200℃ |
ステージサイズ |
180 × 180 mm |
高さ調整 |
10 ~ 100 mm |
電源 |
AC 100V、10A |
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【税別価格】
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