製品・サービス情報
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2波長による紫外線とオゾンのダブル効果で有機汚染物質を除去
UVオゾンクリーナー |
※ダメージフリーの乾式洗浄法で、基板に付着している有機汚染物質を、光化学的酸化分解プロセスによって除去できます。 |
 オゾンレスランプによるオゾン分解機構内蔵タイプ
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| ・ |
「UVオゾン洗浄」⇒「オゾン分解」を自動的に行います。 |
| ・ |
オゾン分解中は、オゾンレスのUV照射を行っているため、サンプルを取り出す直前まで洗浄室内の洗浄が可能です。 |
| ・ |
洗浄室内の流動がなく、飛散に懸念のあるサンプルのUV洗浄に最適です。 |
| ・ |
ガスボンベの設置が困難な環境下での使用に最適です。 |
| ・ |
洗浄室内は、0.02MPaの加圧状態に保持することが出来る密閉構造です。 |
| ・ |
タイマーがデジタル方式で、減数カウントが可能です。 |
| ・ |
オゾンの分解時間は、洗浄室内のオゾン濃度によって異なりますが、1時間程度です。
オゾン分解時間 |
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【仕様】
UVオゾンクリーナー オゾンレスランプによるオゾン分解機構内蔵タイプ
| 製品タイプ |
直管型ランプ（溶融石英）
オゾン分解機構内蔵タイプ |
直管型ランプ（合成石英）
オゾン分解機構内蔵タイプ |
光源
（洗浄用） |
種類 |
低圧水銀ランプ（溶融石英） |
低圧水銀ランプ（合成石英） |
| 形状 |
直管タイプ |
| ランプ本数 |
3本 |
| 波長 |
184.9nm, 253.7nm |
光源
（オゾン分解用） |
種類 |
低圧水銀ランプ（オゾンレス） |
| 形状 |
直管タイプ |
| ランプ本数 |
2本 |
| 波長 |
253.7nm |
| 洗浄室内寸法 |
204(W)×207(D)×142(H)mm |
| 外形寸法 |
400(W)×300(D)×260(H)mm |
| 周波数 |
- |
| 電源 |
100V 5A |
| 紫外線強度 |
5.2mW/cm2（UVランプ1本あたり） |
| オプション |
レギュレーター、流量計 |
| 酸素タイマー |
デジタル式 |
| UV/オゾンタイマー |
デジタル式 |
| オゾン分解タイマー |
デジタル式 |
インターロック機構
（扉スイッチ） |
UVランプ消灯 |
有 |
| 電磁弁遮断 |
有 |
| UVランプ積算タイマー |
無 |
| 税別価格 |
お問い合わせ |
お問い合わせ |
※紫外線強度の測定方法は、ランプにより異なります。詳しくはお問い合わせ下さい。
※価格は日本国内販売価格です。
ガスボンベ用 レギュレーター
| 型式 |
酸素ボンベ用 流量計付レギュレター |
窒素ボンベ用 流量計付レギュレター |
| 型式 |
UV253-ORG |
UV253-NRG |
| 入力側 |
W22-14山（右） |
W22-14山（右） |
| 出力側 |
継手コネクト（外径6mmチューブ用） |
継手コネクト（外径6mmチューブ用） |
| 流量計スケール |
0～10L/min |
0～10L/min |
| 設定流量 |
6L/min |
6L/min |
| 税別価格 |
￥59,000 |
￥59,000 |
⇒流量計付レギュレーターの詳細
※価格は日本国内販売価格です。 |
（関連情報）
⇒乾式洗浄法（UVオゾン洗浄）の原理及び特長はこちらをクリック
⇒論文及び技術資料はこちらをクリック
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