製品・サービス情報
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2波長による紫外線とオゾンのダブル効果で有機汚染物質を除去
UVオゾンクリーナー |
※ダメージフリーの乾式洗浄法で、基板に付着している有機汚染物質を、光化学的酸化分解プロセスによって除去できます。 |
 卓上コンパクト標準タイプ（直管型ランプ）の光量アップ仕様
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直管型ランプを搭載した「卓上コンパクト標準タイプ」のUVランプを、3本から5本に増やして光量アップをしたタイプです。当社の従来比で、紫外線強度が約1.5倍にアップしました。
酸素ガス、窒素ガスに接続し、それぞれ流量を予め設定すると、酸素ガス導入⇒UV洗浄⇒窒素ガス導入（オゾン排気）を自動的に行います。
装置室内は、0.02MPaの加圧状態に保持することができる密閉構造です。
タイマーがデジタル方式で、減数カウントできます。
また、現在弊社UV253、UV253V8をご使用の方はUV253V8Fへのバージョンアップが可能です。
お気軽にお問い合わせ下さい。
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【仕様】
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UVオゾンクリーナー 卓上コンパクト標準タイプ（直管型ランプ）の光量アップ仕様
| 製品タイプ |
直管型ランプ（溶融石英）
光量アップタイプ |
直管型ランプ（合成石英）
光量アップタイプ |
| 型式 |
UV253V8F |
UV253V8FR |
| 光源 |
種類 |
低圧水銀ランプ（溶融石英） |
低圧水銀ランプ（合成石英） |
| 形状 |
直管タイプ |
| ランプ本数 |
5 |
| 波長 |
184.9nm, 253.7nm |
| 洗浄室内寸法 |
204(W)×207(D)×142(H)mm |
| 外形寸法 |
400(W)×300(D)×260(H)mm |
| 周波数 |
- |
| 電源 |
100V 5A |
| 紫外線強度 |
5.2mW/cm2（UVランプ1本あたり） |
| オプション |
オゾンキラー、レギュレーター、流量計 |
| 酸素タイマー |
デジタル式 |
| UVタイマー |
デジタル式 |
窒素タイマー
（オゾン排気） |
デジタル式 |
オゾンキラー連動
電源コンセント |
有 |
インターロック機構
（扉スイッチ） |
UVランプ消灯 |
有 |
| 電磁弁遮断 |
有 |
| UVランプ積算タイマー |
無 |
| 税別価格 |
お問い合わせ |
お問い合わせ |
※紫外線強度の測定方法は、ランプにより異なります。詳しくはお問い合わせ下さい。
※価格は日本国内販売価格です。
オゾンキラー
| 製品名 |
UV253V8F/UV253V8FR用 オゾンキラー |
| 型式 |
UV253-OZ |
| オゾン除去方式 |
触媒 |
| 電源 |
100V 1A |
| エアポンプ排気流量 |
6L/min |
| 外形寸法 |
400(W)×300(D)×120(H)mm |
| 税別価格 |
￥294,000 |
⇒ オゾンキラー（オゾン分解排気装置）の詳細
※価格は日本国内販売価格です。
ガスボンベ用 レギュレーター
| 型式 |
酸素ボンベ用 流量計付レギュレター |
窒素ボンベ用 流量計付レギュレター |
| 型式 |
UV253-ORG |
UV253-NRG |
| 入力側 |
W22-14山（右） |
W22-14山（右） |
| 出力側 |
継手コネクト（外径6mmチューブ用） |
継手コネクト（外径6mmチューブ用） |
| 流量計スケール |
0～10L/min |
0～10L/min |
| 設定流量 |
6L/min |
6L/min |
| 税別価格 |
￥59,000 |
￥59,000 |
⇒流量計付レギュレーターの詳細
※価格は日本国内販売価格です。 |
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（関連情報）
⇒乾式洗浄法（UVオゾン洗浄）の原理及び特長はこちらをクリック
⇒論文及び技術資料はこちらをクリック
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